[发明专利]一种纳米半导体光催化剂的制备方法及应用

权利要求书

1.一种纳米半导体光催化剂，其特征在于，所述催化剂通过前驱体热注射法合成纳米半导体颗粒，该纳米半导体颗粒具备半导体的光电性质或磁性材料的磁学性质。

2.根据权利要求1所述的纳米半导体光催化剂的制备方法，其特征在于，所述制备方法如下：

a、将硫脲和单质硫分别置于有机溶剂中，在氮气或氩气状态下加热并搅拌至溶解得到硫源前体。

b、将金属盐置于有机溶剂中并在氮气或氩气气氛中加热至200～300℃，用注射针快速注入硫源前体，反应待溶液变为黑色沉淀后，冷却至室温，通过离心方式得到纳米半导体光催化剂。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述金属盐为铜盐、锌盐、锡盐、铟盐、镉盐、钛盐、铁盐、锰盐、钴盐、镍盐中的一种或几种；或者是硫酸盐、氧化物、硝酸盐、硬脂酸盐、醋酸盐、磷酸盐中的一种或几种。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂为长链有机溶剂油胺、油酸、十二胺、十六胺、十八胺中的一种或几种。

5.根据权利要求2所述的制备方法所获催化剂的应用，其特征在于，所述催化剂应用在CMP的硅片平坦化处理。

6.根据权利要求5所述的催化剂在CMP抛光中的应用方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

利用超声浴将纳米半导体光催化剂分散到有机溶剂中得到分散液；

在抛光基液中添加上述分散液并通过超声浴或搅拌的方式作分散处理得到抛光液；

在进行化学机械抛光中抛光液与工件接触的附近区域需有太阳光或模拟太阳光照射。

7.根据权利要求6所述的应用方法，其特征在于，所述有机溶剂可以为甲苯、丙酮、氧仿、正丁胺、二正丁胺、异丁胺、仲丁胺、叔丁胺、己胺、己二胺、一甲胺、二甲胺、三甲胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、乙二胺、一丙胺、二丙胺、三丙胺、异丙胺、二异丙胺、环丙胺中的一种或几种。

8.根据权利要求6所述的应用方法，其特征在于，所述的抛光基液至少包含稳定分散的抛光颗粒、碱性化合物和去离子水。

9.根据权利要求6所述的应用方法，其特征在于，所述纳米半导体光催化剂里可以含有磁性元素Mn、Fe、Co、Ni中的一种或几种。