[发明专利]一种靶材结构的制作方法在审
| 申请号： | 201410853856.3 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105803405A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;寿奉粮 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K1/19 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 结构 制作方法 | ||
【说明书】：
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