[发明专利]一种用于检测光学元件弱吸收的装置及方法

权利要求书

1.一种用于检测光学元件弱吸收的装置，其特征在于，包括探测激光器、光电接收器，设置在所述探测激光器与所述光电接收器之间的第一分光元件、反射镜、第二分光元件，所述第一分光元件、第二分光元件、反射镜与光学元件处于同一平面；所述第一分光元件、反射镜、第二分光元件、光学元件围成平行四边形，且依次处于平行四边形的四个顶点；还包括用于产生激励光的激励结构，所述光学元件的表面与所述激励结构相对设置。

2.根据权利要求1所述的用于检测光学元件弱吸收的装置，其特征在于，所述第一分光元件、反射镜、第二分光元件、光学元件围成矩形，所述探测激光器的探测光入射到第一分光元件的夹角为45°。

3.根据权利要求1所述的用于检测光学元件弱吸收的装置，其特征在于，所述激励结构包括泵浦激光器、聚焦镜，所述聚焦镜设置在所述泵浦激光器与所述光学元件之间。

4.根据权利要求3所述的用于检测光学元件弱吸收的装置，其特征在于，所述泵浦激光器与所述聚焦镜之间依次设置有可变衰减器、斩波器。

5.根据权利要求1所述的用于检测光学元件弱吸收的装置，其特征在于，所述探测激光器的发射端与所述第一分光元件之间设置有可变光阑。

6.根据权利要求1所述的用于检测光学元件弱吸收的装置，其特征在于，所述光电探测器与所述第二分光镜之间设置有滤光元件。

7.根据权利要求1所述的用于检测光学元件弱吸收的装置，其特征在于，所述光学元件为光学薄膜。

8.根据权利要求1所述的用于检测光学元件弱吸收的装置，其特征在于，所述第一分光元件与所述第二分光元件的物理参数相同。

9.一种用于检测光学元件弱吸收的方法，其特征在于，包括如下步骤：

用第一分光元件将探测激光器发出的第一激光束分成第二激光束与第三激光束；

将第二激光束经光学元件表面偏转后与所述第三激光束进行合束得到第四激光束；

将所述第四激光束中的杂散光滤掉后被光电探测器接收；

用激励光照射光学元件表面，并用所述光电探测器得到所述第二激光束与所述三激光束间的干涉图样；

根据干涉图样分析所述光学元件的弱吸收率。

10.根据权利要求9所述的用于检测光学元件弱吸收的方法，其特征在于，所述第二激光束与所述第三激光束合束得到第四激光束的具体方法为：将第三激光束经反射镜偏转后用第二分光元件分束得到第五激光束，将第二激光束经所述光学元件表面偏转后用第二分光元件分束得到第六激光束，调整光学元件、反射镜以及第二分光元件的位置使得所述第五激光束与所述第六激光束合束。