[发明专利]一种液晶面板基板及其制造方法

权利要求书

1.一种液晶面板基板，其特征在于，所述基板包括：

玻璃基片；

遮光层，其设置在所述玻璃基片上；

主动层，其设置在所述遮光层上。

2.如权利要求1所述的基板，其特征在于，所述遮光层包括光阻层，所述光阻层的材料包括非晶硅、多晶硅、有色非金属硅化物或上述材料的任一组合。

3.如权利要求2所述的基板，其特征在于，所述遮光层还包括第一隔离层，所述第一隔离层设置在所述光阻层与主动层之间。

4.如权利要求3所述的基板，其特征在于，所述第一隔离层、光阻层和主动层具有相同的图案。

5.如权利要求1～4中任一项所述的基板，其特征在于，所述基板还包括第二隔离层，第二隔离层设置在所述玻璃基片与遮光层之间。

6.如权利要求5所述的基板，其特征在于，所述第二隔离层、遮光层和主动层是通过一次性连续成膜形成的。

7.一种制作液晶面板基板的方法，其特征在于，所述方法包括：

在玻璃基片上形成遮光层；

在所述遮光层上形成主动层；

对所述主动层和遮光层进行刻蚀，得到所需要的液晶面板基板。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，形成遮光层的步骤包括：

在所述玻璃基片上形成光阻层，所述光阻层的材料包括非晶硅、多晶硅、有色非金属硅化物或上述材料的任一组合；

在所述光阻层上形成第一隔离层。

9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法在玻璃基片上形成遮光层之前，还在玻璃基板上形成第二隔离层。

10.如权利要求7～9中任一项所述的方法，其特征在于，在所述遮光层上形成主动层的步骤包括：

在所述遮光层上形成非晶硅层；

对所述非晶硅层进行退火处理，形成所述主动层。