[发明专利]一种长波HgCdTe光伏器件暗电流的测试方法在审
申请号: | 201410851519.0 | 申请日: | 2014-12-31 |
公开(公告)号: | CN104502671A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 孙浩;鲍哲博;朱西安;李家发;刘伟;东海杰;宁提 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | G01R19/00 | 分类号: | G01R19/00 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心11010 | 代理人: | 田卫平 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 长波 hgcdte 器件 电流 测试 方法 | ||
1.一种长波HgCdTe光伏器件暗电流的测试方法,其特征在于,该方法包括:
步骤A,将样品安装在液氮杜瓦中,并按定义焊接好引线;
步骤B,在所述杜瓦中安装冷屏并加入温度传感器;
步骤C,对所述液氮杜瓦进行抽取真空操作;
步骤D,用测试线连接所述杜瓦与半导体测试分析仪;
步骤E,基于所述半导体测试分析仪对所述样品进行电压测试并保存数据;
步骤F,基于所述半导体测试分析仪对所述数据进行分析。
2.如权利要求1所述的测试方法,其特征在于,
所述冷屏是由c型环、内外冷屏、外层冷屏组成的双层冷屏结构;其中,内层冷屏表面镀金,直径为18mm,厚度1mm,外层冷屏的直径为30mm,厚度为0.6mm,内外冷屏全为封闭式,无开口,内外冷屏之间的距离为6mm,内层冷屏之间和冷头之间垫有c型环,所述c型环与内层冷屏之间填涂有导热脂。
3.如权利要求1所述的测试方法,其特征在于,所述步骤A包括:
将样品黏贴在中测杜瓦的冷头上。
4.如权利要求2所述的测试方法,其特征在于,所述步骤B包括:
在样品周围垫上c型环,在所述c形环上黏贴所述内侧冷屏,并在所述c型环上均匀填涂导热脂;
在内侧冷屏的外表面上加入温度传感器,然后安装外层冷屏,最后在外面扣上窗座。
5.如权利要求1所述的测试方法,其特征在于,所述步骤C包括:
对所述液氮杜瓦进行抽取真空操作,直到真空度达到1torr时停止。
6.如权利要求2所述的测试方法,其特征在于,所述步骤D包括:
在所述杜瓦中灌入液氮,并对内层冷屏的温度进行实时监测;
当传感器数值稳定在1.05(80k)时,用测试线连接所述杜瓦与半导体分析仪。
7.如权利要求2所述的测试方法,其特征在于,
所述温度传感器安装位置为内层冷屏的外表面上,所述温度传感器已进行温度标定。所述温度传感器与内层冷屏之间填涂有导热脂。
8.如权利要求1所述的测试方法,其特征在于,
所述测试线一端为BNC射频连接器,一端为微型D型插头,中间设置为射频电缆,所述射频电缆从内到外分别是输出线、绝缘层、地线、绝缘层、屏蔽层、绝缘层、外壳,整体为一连续屏蔽体;其中,所述测试线的各个连接处为焊接。
9.如权利要求1所述的测试方法,其特征在于,
所述电压测试的范围为:-0.8v—0.1v,步长为0.5mv,电压测试后得到的是一组关于电压电流的数据。
10.如权利要求1所述的测试方法,其特征在于,所述步骤F,包括:
对数据进行平整度,数据筛选,差分,多项式拟合数据处理,得到暗电流的动态电阻随电压的变化曲线,最后求得反偏工作电阻Rr,零偏电阻R0。
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