[发明专利]一种渗氮PVD复合涂层及其制备方法在审
| 申请号: | 201410850674.0 | 申请日: | 2014-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN104480478A | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
| 发明(设计)人: | 陈汪林;张世宏;权植哲;郑洁;李福星;吴东青 | 申请(专利权)人: | 马鞍山市安工大工业技术研究院有限公司 |
| 主分类号: | C23F17/00 | 分类号: | C23F17/00 |
| 代理公司: | 北京天平专利商标代理有限公司 11239 | 代理人: | 缪友菊 |
| 地址: | 243000 安徽省马鞍*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 pvd 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种高性能模具钢涂层,尤其涉及一种渗氮PVD复合涂层及其制备方法。
背景技术
随着现代制造业的快速发展,越来越多的产品需要模具加工,模具工业已成为现代制造业发展的基础。我国已经成为模具消费大国,模具工业每年以15%增速递增,但不是模具制造强国,目前国内中、高档模具钢主要靠国外进口。模具工业也面临诸多挑战,例如:挤压、冲压等成型技术的快速发展对工模具提出了高耐磨性、高载荷能力、高韧性、高疲劳强度及高热稳定性等要求。模具表面质量对模具的使用寿命有关键的影响,模具的磨损、粘结均发生在表面,疲劳、断裂也往往从表面开始。此外,模具表面和心部的性能要求是不同的,很难通过材料本身或模具的整体热处理来实现。物理气相沉积(PVD)涂层具有高的表面硬度、稳定的化学惰性、良好的热稳定性和耐腐蚀性,提高了模具的使用寿命、降低生产成本和保证加工产品的质量,被广泛地应用于电子、汽车、电机、家电和通信等行业。
PVD涂层膜具有优良的力学及摩擦磨损性能,可满足一般模具钢制工模具的需求。但在一些工况恶劣的条件下,纳米多层膜的应用受到了挑战。例如:对于承受高载荷、高疲劳强度、高弯曲强度和剧烈摩擦磨损的冷作模具,单一多层膜已近不能满足其的要求,其原因在于模具钢基体与硬质膜比较,其硬度相对较软、硬质膜与基体的结合力不够,服役中不能有力支撑硬质膜而发生早期破坏。为了增强基体对硬质膜的支撑作用和改善硬质膜与基结合力,仅靠优化硬质膜的成分与结构是不够的,还必须从硬质膜和基体的整个体系来考虑,为此引入耐磨复合涂层的概念,即:在硬质膜与基体间制备一个中间强化层。渗氮层就是最具前景的中间强化层之一。
通常情况下,渗氮工件横截面组织分为化合物层、扩散层和基体三部分组成,化合物层在PVD沉积过程中分解成低硬度的黑色组织,弱化了渗氮层对PVD涂层的支撑作用,同时也降低了PVD硬质膜-渗氮层之间的结合力。只有当渗氮表面未出现连续化合物或在PVD涂层沉积前去除连续化合物,才能获得良好的膜-基体结合强度、磨损性能等力学性能。因此,广大研究者认为化合物层是渗氮-PVD复合涂层中的有害组织,通常会被去除掉,或者是通过扩散渗氮工艺,制备无化合物层的渗氮工件。但机械抛光去除化合物层会增加涂层的制备成本。
发明内容
发明目的:本发明目的在于针对现有技术的不足,提供一种渗氮PVD复合涂层及其制备方法,具有较高的膜-基结合强度、硬度、断裂韧性以及摩擦磨损性能。
技术方案:本发明所述复合涂层由内至外依次包括基体、扩散层、化合物层和PVD硬质膜层;所述基体是内部组织主要由回火索氏体组成的模具钢;所述扩散层的内部组织包括含氮过饱和的马氏体组织、金属氮化合物、金属碳化合物和Fe4N相;所述化合物层的内部组织包括面心立方结构的Fe4N相、面心立方结构CrN相和密排六方结构的Fe2-3N相;所述PVD硬质膜层的内部组织主要由面心立方结构的fcc-(Cr,Al)N相组成,还包括少量的密排六方结构的hcp-AlN相和面心立方结构的fcc-(Ti,Al)N相。
作为本发明的优选方式之一,所述模具钢经过调质处理后其内部组织主要为回火索氏体。
作为本发明的优选方式之一,所述扩散层的厚度为0.1~0.4mm。
作为本发明的优选方式之一,所述化合物层的厚度为12~18μm。
作为本发明的优选方式之一,所述PVD硬质膜层的厚度为2~5μm。
所述PVD硬质膜层为AlCrN层,按原子数百分比计,AlCrN层的成分包括Al40~50%,Cr10~15%,N35~45%,Fe、O、B共计0.5~1%。
一种渗氮PVD复合涂层的制备方法,包括以下步骤:
(1)将模具钢样品淬火后高温回火处理,然后将处理后的模具钢样品抛光至粗糙度≤0.1μm,清洗后放入氮化炉的炉架中,通入氨气辉光加热后,调节炉内氨气和丙酮的流量,制备氮化样品;
(2)将氮化后的样品进行退火处理,退火后样品水冷,然后抛光至粗糙度≤0.1μm再清洗;
(3)将上述清洗后的退火样品放入PVD炉内,进行辉光清洗,然后打开Cr靶和AlCr靶,同时打开氮气开关,沉积PVD硬质膜。
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