[发明专利]一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法无效

专利信息
申请号: 201410843556.7 申请日: 2014-12-30
公开(公告)号: CN104589761A 公开(公告)日: 2015-05-06
发明(设计)人: 叶向东;蔡安江;阮晓光 申请(专利权)人: 西安建筑科技大学
主分类号: B32B37/00 分类号: B32B37/00;B32B38/10
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 徐文权
地址: 710055*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 实现 硅橡胶 金属 ti 永久性 粘结 方法
【权利要求书】:

1.一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,包括以下步骤:将洁净的硅橡胶膜、金属Ti层放入反应离子刻蚀机,采用氧气等离子体对硅橡胶膜、金属Ti层的表面进行刻蚀加工;将刻蚀后的硅橡胶膜的刻蚀面与金属Ti层的刻蚀面贴合在一起;然后将贴合在一起的硅橡胶膜与金属Ti放入烘箱中进行加热处理;加热完成后,从烘箱取出硅橡胶膜与金属Ti,完成了硅橡胶膜与金属Ti的永久性粘结。

2.根据权利要求1所述的一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,硅橡胶膜通过以下方法清洁至洁净:将硅橡胶膜依次分别放入丙酮、乙醇和去离子水溶液中,采用超声清洗的方式对硅橡胶膜的表面进行清洁,每次的超声时间均为10分钟;结束后,采用洁净的氮气将硅橡胶膜吹干。

3.根据权利要求1所述的一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,金属Ti层通过以下方法清洁至洁净:将金属Ti层依次分别放入丙酮、乙醇和去离子水溶液中,采用超声清洗的方式对Ti层的表面进行清洁,每次的超声时间可为10分钟;结束后,采用洁净的氮气将金属Ti层吹干。

4.根据权利要求1所述的一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,所述硅橡胶膜为PDMS膜。

5.根据权利要求1所述的一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,在刻蚀过程中,刻蚀机的功率为1W-600W、氧气压力为10Pa-1000Pa、刻蚀时间为10-600S。

6.根据权利要求1所述的一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,烘箱中的为80℃-160℃,热处理时间为40分钟-100分钟。

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