[发明专利]一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法无效
申请号: | 201410843556.7 | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN104589761A | 公开(公告)日: | 2015-05-06 |
发明(设计)人: | 叶向东;蔡安江;阮晓光 | 申请(专利权)人: | 西安建筑科技大学 |
主分类号: | B32B37/00 | 分类号: | B32B37/00;B32B38/10 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710055*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 实现 硅橡胶 金属 ti 永久性 粘结 方法 | ||
1.一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,包括以下步骤:将洁净的硅橡胶膜、金属Ti层放入反应离子刻蚀机,采用氧气等离子体对硅橡胶膜、金属Ti层的表面进行刻蚀加工;将刻蚀后的硅橡胶膜的刻蚀面与金属Ti层的刻蚀面贴合在一起;然后将贴合在一起的硅橡胶膜与金属Ti放入烘箱中进行加热处理;加热完成后,从烘箱取出硅橡胶膜与金属Ti,完成了硅橡胶膜与金属Ti的永久性粘结。
2.根据权利要求1所述的一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,硅橡胶膜通过以下方法清洁至洁净:将硅橡胶膜依次分别放入丙酮、乙醇和去离子水溶液中,采用超声清洗的方式对硅橡胶膜的表面进行清洁,每次的超声时间均为10分钟;结束后,采用洁净的氮气将硅橡胶膜吹干。
3.根据权利要求1所述的一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,金属Ti层通过以下方法清洁至洁净:将金属Ti层依次分别放入丙酮、乙醇和去离子水溶液中,采用超声清洗的方式对Ti层的表面进行清洁,每次的超声时间可为10分钟;结束后,采用洁净的氮气将金属Ti层吹干。
4.根据权利要求1所述的一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,所述硅橡胶膜为PDMS膜。
5.根据权利要求1所述的一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,在刻蚀过程中,刻蚀机的功率为1W-600W、氧气压力为10Pa-1000Pa、刻蚀时间为10-600S。
6.根据权利要求1所述的一种实现硅橡胶膜与金属钛Ti层永久性粘结的方法,其特征在于,烘箱中的为80℃-160℃,热处理时间为40分钟-100分钟。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安建筑科技大学;,未经西安建筑科技大学;许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410843556.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种多种材料复杂分布薄膜材料的制备方法
- 下一篇:一种铝合金型材及其制造方法