[发明专利]一种导电氧化锆旋转靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种导电氧化锆旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

氧化锆喷涂粉的制备；

喷涂基体的处理；

喷涂打底层；

用等离子喷涂工艺在喷涂基体上喷涂氧化锆涂层；

所述用等离子喷涂工艺在喷涂基体上喷涂氧化锆涂层的过程中，所述喷涂基体的转速控制为30-80r/min，喷枪与所述喷涂基体间的距离控制为120-200mm，喷枪的移动速度控制为300-800mm/min；电流400A，电压50KV，送粉量40g·min^-1,送粉气流量4L·min^-1，主气类型Ar；此气类型氢气，主气流量40L·min^-1，次气流量5L·min^-1，主气压力8MPa，次气压力6MPa；所述用等离子喷涂工艺在喷涂基体上喷涂氧化锆涂层的过程中，所述喷涂基体表面用压缩气流进行冷却，所述喷涂基体的表面温度控制为不超过200℃。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氧化锆喷涂粉的制备包括：以质量百分比计，将93-98％的氧化锆粉末与2-7％的碳粉混合后，在1500-1700℃的氢气气氛中烧结6-10小时，然后经喷雾干燥，得到100-400目的氧化锆喷涂粉末。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：所述氧化锆粉末的纯度不低于99.5wt％，粒径为1-5um。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷涂基体的处理包括：先清洗、打磨去除所述喷涂基体表面的油渍和氧化层，然后采用喷砂粗化所述喷涂基体表面。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述喷涂打底层是在喷涂基体表面喷涂0.1-0.3mm的合金涂层。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述喷涂合金涂层是采用等离 子喷涂法在所述喷涂基体表面喷涂镍包铝、镍铬、镍铬铝或镍铬铝钇粉末，或采用电弧法在所述喷涂基体表面喷涂铝青铜或镍铝合金丝。