[发明专利]超声波装置、超声波换能器装置及超声波图像装置

权利要求书

1.一种超声波装置，其特征在于，包括：

基板，具有多个第一开口部以及第二开口部，所述第二开口部的开口面积大于所述第一开口部的开口面积；

第一超声波换能器元件，对应每个所述第一开口部设置在堵塞所述第一开口部的具有第一面积的第一振动膜上，且包括夹着压电体的两个电极；以及

第二超声波换能器元件，设置在堵塞第二开口部且具有比所述第一面积大的第二面积的第二振动膜上，且包括夹着压电体的两个电极，

所述第一开口部配置为阵列状，且所述第二开口部配置在所述第一开口部被配置为阵列状的区域与所述基板的外缘之间。

2.根据权利要求1所述的超声波装置，其特征在于，具备多个所述第二开口部，且具备被分别配置在所述多个所述第二开口部的所述第二超声波换能器元件。

3.根据权利要求2所述的超声波装置，其特征在于，所述多个所述第二开口部在包括沿第一方向相互分离的位置和沿与所述第一方向交叉的第二方向相互分离的位置的地方，被配置在三处以上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的超声波装置，其特征在于，所述第二开口部在从基板的厚度方向观察到的俯视观察中形成为圆形。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的超声波装置，其特征在于，还具备：衬垫材料，与所述基板结合，在所述第二开口部内，在与所述第二振动膜之间划分密封空间。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的超声波装置，其特征在于，还具备：导电体，与所述第一超声波换能器元件的所述两个电极中的一个以及所述第二超声波换能器元件的所述两个电极中的一个共同连接。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的超声波装置，其特征在于，由共同的连续膜的一部分分别形成所述第一振动膜以及所述第二振动膜。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的超声波装置，其特征在于，还具备：声透镜，在从所述基板的厚度方向观察到的俯视观察中，在所述第一开口部被配置为阵列状的区域与配置有所述第二开口部的区域之间，规定形成凹陷的表面。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的超声波装置，其特征在于，还包括：第一声透镜，由第一材料形成，覆盖所述第一超声波换能器元件；以及第二声透镜，由与所述第一材料不同的第二材料形成，覆盖所述第二超声波换能器元件。

10.一种超声波换能器装置，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的超声波装置以及控制部，所述控制部具备根据所述第二超声波换能器元件的谐振频率的变化计算接触压力的运算部。

11.根据权利要求10所述的超声波换能器装置，其特征在于，所述控制部具备：第一驱动控制部，输出以第一频率驱动所述第一超声波换能器元件的驱动信号；以及第二驱动控制部，输出以低于所述第一频率的第二频率驱动所述第二超声波换能器元件的驱动信号。

12.根据权利要求11所述的超声波换能器装置，其特征在于，所述第二驱动控制部在从所述第一驱动控制部输出所述驱动信号之后的接收期间，输出所述驱动信号。

13.一种探测器，其特征在于，具备：

权利要求1至12中任一项所述的超声波装置或超声波换能器装置；以及

框体，支撑所述超声波装置或所述超声波换能器装置。

14.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1至12中任一项所述的超声波装置或超声波换能器装置；以及

处理部，与所述超声波装置或所述超声波换能器装置连接，对所述超声波装置或所述超声波换能器装置的输出进行处理。

15.一种超声波图像装置，其特征在于，具备：

权利要求1至12中任一项所述的超声波装置或超声波换能器装置；

处理部，与所述超声波装置或所述超声波换能器装置连接，对所述超声波装置或所述超声波换能器装置的输出进行处理，并生成图像；以及

显示装置，显示所述图像。