[发明专利]一种移相干涉检测振动抑制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种移相干涉检测振动抑制方法，属于光学检测技术领域，可有效抑制振动对移相干涉检测精度的影响，明显提高移相激光干涉仪的重复性、复现性和精度，该方法可以应用于光学面形和系统波像差干涉检测、全息干涉检测等领域。

背景技术

随着光学成像系统的质量提高，光学元件面形精度要求越来越高，尤其是光刻领域，为实现曝光光学系统满足衍射极限，要求光学元件面形精度达到亚纳米级别，这就对光学波前检测提出了极为苛刻的要求。

在移相干涉检测中，振动会引入一个周期性的位置变化，改变干涉腔长，从在干涉图中引入一个周期性的相位变化。振动是由各种不同频率的振动分量(可以用简谐振动表示)组成，当存在振动时，干涉图的光强分布可以用下式表示，

I(x,y,t)=I0(x,y){1+V(x,y)cos[φ(x,y)+2πv0t+Σi=1Kricos(2πvit+αi)]}---(1)]]>

式中，I(x,y,t)为干涉图中(x,y)坐标点处在t时刻的灰度值，Ι₀(x,y)和V(x,y)分别为干涉图中(x,y)坐标点处的背景光强和对比度，Φ(x,y)为包含待测波前信息的相位分布，r_i、ν_i和α_i分别为第i个振动分量的振幅、频率和初始相位。

振动引入测量误差的本质是其导致移相不准，对于等间隔移相干涉图，理想移相量和由于振动引起的移相不准为，