[发明专利]用于工具部件的异常检测的方法和系统在审

专利信息
申请号: 201410837979.8 申请日: 2014-12-25
公开(公告)号: CN105787634A 公开(公告)日: 2016-07-20
发明(设计)人: 余志贤 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G06Q10/06 分类号: G06Q10/06
代理公司: 北京市磐华律师事务所 11336 代理人: 董巍;高伟
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 工具 部件 异常 检测 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种用于工具部件的异常检测的方法,其特征在于,所述方 法包括:

基于与所述工具的所有部件相关的质量信息数据分析并确定所 述工具的各个部件的异常频度级别;以及

基于所述各个部件的异常频度级别筛选出风险部件。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法进一步包 括:基于所述风险部件各自的寿命时间和/或已使用时间筛选出高风 险部件。

3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述高风险部件的 筛选进一步基于所述风险部件的寿命时间与已使用时间的时间差。

4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述方法进一步包 括:基于所述风险部件的寿命时间与已使用时间的时间差对所述风险 部件进行排序,以确定异常检测优先级。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述风险部件的筛 选进一步基于所述各个部件的异常频度级别是否高于预定阈值。

6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述预定阈值基于 不同部件而不同。

7.如权利要求1-6中的任意一项所述的方法,其特征在于,所 述质量信息数据包括报警信息数据,并且所述异常频度级别为报警频 度级别。

8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述质量信息数据 还包括报废信息数据和/或工具参数信息数据。

9.一种用于工具部件的异常检测的系统,其特征在于,所述系 统包括:

数据分析模块,用于基于与所述工具的所有部件相关的质量信息 数据分析并确定所述工具的各个部件的异常频度级别;以及

风险部件筛选模块,用于基于所述各个部件的异常频度级别筛选 出风险部件。

10.如权利要求9所述的系统,其特征在于,所述风险部件筛选 模块进一步用于基于所述风险部件各自的寿命时间和/或已使用时间 筛选出高风险部件。

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