[发明专利]用于工具部件的异常检测的方法和系统在审
| 申请号: | 201410837979.8 | 申请日: | 2014-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN105787634A | 公开(公告)日: | 2016-07-20 |
| 发明(设计)人: | 余志贤 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号: | G06Q10/06 | 分类号: | G06Q10/06 |
| 代理公司: | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人: | 董巍;高伟 |
| 地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 工具 部件 异常 检测 方法 系统 | ||
1.一种用于工具部件的异常检测的方法,其特征在于,所述方 法包括:
基于与所述工具的所有部件相关的质量信息数据分析并确定所 述工具的各个部件的异常频度级别;以及
基于所述各个部件的异常频度级别筛选出风险部件。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法进一步包 括:基于所述风险部件各自的寿命时间和/或已使用时间筛选出高风 险部件。
3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述高风险部件的 筛选进一步基于所述风险部件的寿命时间与已使用时间的时间差。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述方法进一步包 括:基于所述风险部件的寿命时间与已使用时间的时间差对所述风险 部件进行排序,以确定异常检测优先级。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述风险部件的筛 选进一步基于所述各个部件的异常频度级别是否高于预定阈值。
6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述预定阈值基于 不同部件而不同。
7.如权利要求1-6中的任意一项所述的方法,其特征在于,所 述质量信息数据包括报警信息数据,并且所述异常频度级别为报警频 度级别。
8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述质量信息数据 还包括报废信息数据和/或工具参数信息数据。
9.一种用于工具部件的异常检测的系统,其特征在于,所述系 统包括:
数据分析模块,用于基于与所述工具的所有部件相关的质量信息 数据分析并确定所述工具的各个部件的异常频度级别;以及
风险部件筛选模块,用于基于所述各个部件的异常频度级别筛选 出风险部件。
10.如权利要求9所述的系统,其特征在于,所述风险部件筛选 模块进一步用于基于所述风险部件各自的寿命时间和/或已使用时间 筛选出高风险部件。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410837979.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法;其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政;管理
G06Q10-02 .预定,例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化,例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理,例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源;企业规划;组织模型
G06Q10-08 .物流,例如仓储、装货、配送或运输;存货或库存管理,例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化,例如电子邮件或群件的计算机辅助管理





