[发明专利]采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统有效
| 申请号： | 201410833080.9 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN104483725A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 高明辉;郑玉权;陈伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B3/02 | 分类号： | G02B3/02;G02B5/18 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 刘慧宇 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 球面 透镜 为准 结构 光栅 曝光 系统 | ||
【权利要求书】：
1.采用非球面透镜作为光学准直结构的光栅曝光系统，激光束投射到分光器(1)，形成两束有一定角度的相干平行光，两束光分别两套完全相同的装置，其中一束光经过反射镜(2)进入空间滤波器(3)，去掉光学干扰后再进入准直结构(6)，形成准直光后入射到光栅基底(5)上，由于是两束相干平行光，它们在相干长度范围内相遇，产生出稳定的干涉条纹，将干涉条纹记录到光栅基底(5)上；其特征是，所述准直结构(6)为非球面单透镜，该非球面单透镜一面为非球面，另一面为平面，所述非球面满足下式：
其中，R：非球面顶点的曲率半径；K：二次曲面系数，K>0；A＝B＝C＝D＝E＝F＝G＝H＝I＝0。
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