[发明专利]一种石墨烯/氧化锌异质结发光二极管及其制造方法

权利要求书

1.一种石墨烯-氧化锌异质结发光二极管，其特征在于自下而上依次有绝缘衬底（1），石墨烯层（2）及氧化锌纳米线（3），氧化锌纳米线（3）与石墨烯层（2）形成异质结且至少有一端与绝缘衬底（1）接触，所述的发光二极管还设有第一电极（4）与第二电极（5），第一电极（4）设置在石墨烯层（2）上，所述的第二电极（5）覆盖氧化锌纳米线（3）的一端，仅连接氧化锌纳米线（3）和绝缘衬底（1）。

2.根据权利要求1所述的石墨烯/氧化锌异质结发光二极管，其特征在于所述的绝缘衬底（1）为绝缘固体或具有绝缘层的固态导体、半导体及绝缘体，所述的绝缘层为氧化硅、氮化硅、碳化硅、氮氧化硅、氧化铪、氧化钛或氮化硼，厚度为0.4纳米至100微米。

3.根据权利要求1所述的石墨烯/氧化锌异质结发光二极管，其特征在于所述的石墨烯层（2）中石墨烯为1~10层。

4.根据权利要求1所述的石墨烯/氧化锌异质结发光二极管，其特征在于所述的第一电极（4）与第二电极（5）均为金、铜、镍、银、钛、钯、铬和铂中的一种或几种的复合电极。

5.制备如权利要求1~4任一项所述的石墨烯/氧化锌异质结发光二极管的方法，其特征在于包括如下步骤：

1）将石墨烯转移至洁净的绝缘衬底（1）上；

2）将氧化锌纳米线（3）转移至石墨烯层（2）上，并使其至少有一端与绝缘衬底（1）接触；

3）在石墨烯层（2）上制备第一电极（4）；

4）在氧化锌纳米线（3）与绝缘衬底（1）接触的一端制备第二电极（5）。

6.根据权利要求5所述的石墨烯/氧化锌异质结发光二极管的制备方法，其特征在于制备第一电极（4）和第二电极（5）采用的方法为电子束蒸发、磁控溅射、热蒸发、涂覆、印刷或者打印。