[发明专利]惯性测量模块及三轴加速度计

权利要求书

1.一种惯性测量模块，其特征在于，包括：

基板，以及位于基板上作为下电极的第一极片(4)，

悬空在基板上方的质量块(1)；所述质量块(1)上设有与第一极片(4)组成Z轴检测电容的上电极；

用于连接基板和质量块(1)的弹性十字梁，所述弹性十字梁包括第一弹性梁(12)以及第二弹性梁(11)，其中，第二弹性梁(11)的两端连接在基板的锚点(6)上，第一弹性梁(12)的两端连接质量块(1)，或者是第一弹性梁(12)的两端连接在基板的锚点(6)上，第二弹性梁(11)的两端连接质量块(1)；所述第一弹性梁(12)和/或第二弹性梁(11)的中心偏离质量块(1)的重心；

所述质量块(1)在Y轴、X轴方向上还设置有第一可动电极(9)、第二可动电极(10)；所述基板上设置有用于与第一可动电极(9)、第二可动电极(10)分别组成Y轴检测电容、X轴检测电容的第一固定电极(2)、第二固定电极(3)。

2.根据权利要求1所述的惯性测量模块，其特征在于：所述第一弹性梁(12)位于X轴方向上，所述第二弹性梁(11)位于Y轴方向上。

3.根据权利要求1所述的惯性测量模块，其特征在于：所述质量块(1)设置有通孔，所述第一弹性梁(12)连接在通孔的侧壁上。

4.根据权利要求2所述的惯性测量模块，其特征在于：所述第二弹性梁(11)位于质量块(1)Y轴方向的中线上，所述第一弹性梁(12)偏离质量块(1)X轴方向的中线。

5.根据权利要求2所述的惯性测量模块，其特征在于：所述第一弹性梁(12)位于质量块(1)X轴方向的中线上，所述第二弹性梁(11)偏离质量块(1)Y轴方向的中线。

6.根据权利要求5所述的惯性测量模块，其特征在于：所述第一极片(4)的数量有两个，对称分布在第一弹性梁(12)的两侧。

7.根据权利要求1所述的惯性测量模块，其特征在于：所述第一可动电极(9)和/或第二可动电极(10)分别设置有两个，分别位于质量块(1)相对的两侧。

8.根据权利要求1所述的惯性测量模块，其特征在于：第一可动电极(9)与第一固定电极(2)之间和/或第二可动电极(10)与第二固定电极(3)之间构成梳齿电容结构。

9.一种三轴加速度计，其特征在于：包括两个结构对称的如权利要求5、6任一项所述的惯性测量模块；还包括将两个惯性测量模块中的质量块(1)连接起来的连接梁。

10.根据权利要求9所述的三轴加速度计，其特征在于：所述连接梁包括位于X轴方向上的横梁(7)，还包括位于Y轴方向上、一端与横梁(7)连接一端与质量块(1)侧壁连接的纵梁(8)；所述纵梁(8)与第二弹性梁(11)在一条直线上。

11.一种三轴加速度计，其特征在于：包括两个结构对称的如权利要求1、2、3、4、7、8任一项所述的惯性测量模块；还包括将两个惯性测量模块中的质量块(1)连接起来的连接梁。