[发明专利]一种贴膜治具

权利要求书

1.一种贴膜治具，用于将膜片贴附于基板上；其特征在于，包括：

基台；

用于承载基板的基板承载部；

以及，用于承载膜片的膜片承载部；其中，

所述基台包括与所述基板承载部的承载面平行设置的基底板以及垂直设置于所述基底板上的侧板，所述膜片承载部铰接于所述侧板上，能够相对所述基台旋转至闭合工位和开启工位，其中当所述膜片承载部处于所述闭合工位时，所述膜片承载部的承载面与所述基板承载部的承载面相对，以使膜片的第一部分与基板的第一部分接触；

所述基板承载部可移动地设置于所述基底板上，并能够在所述膜片承载部处于所述闭合工位之后，沿所述基板承载部的承载面方向平移，使所述基板承载部的承载面与所述膜片承载部的承载面发生相对运动，以使膜片的第二部分贴附于基板的第二部分。

2.根据权利要求1所述的贴膜治具，其特征在于，

所述膜片承载部包括：

用于吸附膜片的第一部分的膜片吸附平面，所述膜片吸附平面上均匀分布有多个第一真空吸孔，所述第一真空吸孔与真空装置连接；

以及，用于收容膜片的第二部分，并在膜片的第一部分与基板的第一部分接触之后，在基板承载部沿基台平移过程中逐渐释放膜片的第二部分的供膜装置，所述供膜装置设置于所述膜片吸附平面的一侧。

3.根据权利要求2所述的贴膜治具，其特征在于，

所述供膜装置包括：能够收放膜片的收放卷轴。

4.根据权利要求2所述的贴膜治具，其特征在于，

所述膜片承载部还包括：设置于所述膜片吸附平面上，用于对膜片进行定位的第一定位模块。

5.根据权利要求4所述的贴膜治具，其特征在于，

所述第一定位模块包括：用于对膜片的第一部分的第一侧边进行限位的第一限位尺；以及用于对膜片的第一部分的与所述第一侧边相邻接的第二侧边进行限位的第二限位尺。

6.根据权利要求1所述贴膜治具，其特征在于，

所述基板承载部包括：

用于吸附基板的基板吸附平面，所述基板吸附平面上均匀分布有多个第二真空吸孔，所述第二真空吸孔与真空装置连接。

7.根据权利要求6所述的贴膜治具，其特征在于，

所述基板承载部还包括：设置于所述基板吸附平面上，用于对基板进行定位的第二定位模块。

8.根据权利要求7所述的贴膜治具，其特征在于，

所述第二定位模块包括：

用于对基板的第一侧边进行限位的第三限位尺；以及用于对基板的与所述第一侧边相邻接的第二侧边进行限位的第四限位尺。

9.根据权利要求1所述的贴膜治具，其特征在于，

所述基底板上具有沿与所述基板承载部的承载面平行的第一方向延伸的轨道，所述基板承载部设置在所述轨道上，并可沿所述轨道移动；所述侧板位于所述轨道的一端。

10.根据权利要求1所述的贴膜治具，其特征在于，

所述贴膜治具还包括用于使所述基板承载部上的基板与所述膜片承载部上的膜片进行对位的对位机构。

11.根据权利要求10所述的贴膜治具，其特征在于，

所述对位机构包括：

一支撑台面，所述基板承载部可移动地设置所述支撑台面上；

一容置框架，所述容置框架设置在所述支撑台面上，围设于所述基板承载部的外周，并与所述基板承载部之间具有预留距离，所述容置框架包括沿第一方向设置的第一边框和第二边框以及沿第二方向设置的第三边框和第四边框，其中所述第三边框和/或所述第四边框上设置有第一通孔；

以及，用于在与所述基板承载部的承载面平行的第一方向上调整所述基板承载部的位置的第一调整组件，其中所述第一调整组件包括：

沿所述第一方向设置的第一推进杆，所述第一推进杆的一端固定于所述基板承载部，另一端穿设于所述第一通孔之外，其中所述第一推进杆沿所述第一方向在所述第一通孔内移动，以推动所述基板承载部在所述第一方向上移动；

和，用于对所述第一推进杆进行限位的第一限位件。