[发明专利]一种芯片供送机构及粘片机有效
申请号: | 201410820522.6 | 申请日: | 2014-12-25 |
公开(公告)号: | CN105789101B | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 于丽娜 | 申请(专利权)人: | 北京中电科电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;黄灿 |
地址: | 100176 北京市经*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 机构 粘片机 | ||
本发明提供一种芯片供送机构及粘片机,涉及机械制造领域,其中,该芯片供送机构包括:旋转装置,能够绕轴线作旋转运动;一个焊臂单元,绕所述旋转装置的轴线分布于所述旋转装置上;第一驱动装置,用于驱动旋转至拾片区的焊臂单元从所述拾片区拾取芯片,以及用于驱动旋转至放片区的焊臂单元放置芯片到所述放片区。本发明的芯片供送机构中θ向旋转和Z向往复运动分别使用两种驱动方式,去掉了价格昂贵、精度要求高的花键轴承,保证拾放臂刚度高、系统成本低。该拾放芯片的方式大大提高了粘片机的粘接速度和粘接精度,提高了机器的一致性和产品品质。
技术领域
本发明涉及机械制造领域,特别是涉及一种芯片供送机构及粘片机。
背景技术
传统粘片机构(也可叫芯片供送机构),常见的有两种。一种是使用花键轴承带动拾放臂在θ向旋转、Z向往复进行拾放片,如图1所示。电机驱动安装在偏心轴座11的偏心轴12上。偏心轴12轴端安装有轴承13,以减小机构运行时的摩擦阻力。压盖14和芯片拾放臂18固定在花键轴16上。花键轴16安装在轴承座17上进行Z向和θ向运动。拾取芯片时,轴承13推动压盖14,带动花键轴16和芯片拾放臂18作Z向向下运动,从蓝膜19上拾取芯片。然后,伺服电机带动偏心轴12反向转动,花键轴16和芯片拾放臂18在压缩弹簧15的带动下作Z向抬升运动,完成芯片的拾取动作。接着,θ向伺服电机带动花键轴16作θ向旋转,到达料架20位置进行放片。再经过类似的Z向运动将芯片放置在料架上。该种粘片方式需使用θ向、Z向都可运动的花键轴承,其精度要求高,目前只有极少数厂家能加工,价格很贵。另外,该粘片方式下,拾放力不可控。虽然这种粘片方式所需力矩较小,但臂前端刚性较低,在高速运转时,容易造成振动,导致粘片精度差、效率低。
另一种粘片机构,利用直线电机带动拾放臂在Y向、Z向运动进行拾放片,如图2所示。其拾放机构主要由分拆式直线电机、带真空吸嘴的焊臂组成。焊臂用于把芯片从拾片区移到粘接位置处。这种方式下,焊臂的运动轨迹均为直线运动,与旋转运动相比,不存在力放大效应,需要更大的电机力。另外,线性马达、线性编码器等部分全部加载在焊臂上,导致焊臂很重,加速度很难提高,严重影响粘片速度。
基于上述内容,无论是花键轴承型还是直线电机型通常拾放臂较重、刚度差、力不可控、成本高、粘片精度差、速度低。
发明内容
本发明的目的是提供一种芯片供送机构及粘片机,芯片供送结构中焊臂单元由拾片区运动到放片区θ向的旋转,及焊臂单元在拾放芯片的过程中Z向的往复运动,其中θ向旋转和Z向往复运动分别使用两种驱动方式,去掉了价格昂贵、精度要求高的花键轴承,保证拾放臂刚度高、系统成本低。该供送机构大大提高了粘片机的粘接速度和粘接精度,提高了机器的一致性和产品品质。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种芯片供送机构,包括:
旋转装置,能够绕轴线作旋转运动;
一个焊臂单元,绕所述旋转装置的轴线分布于所述旋转装置上;
第一驱动装置,用于驱动旋转至拾片区的焊臂单元从所述拾片区拾取芯片,以及用于驱动旋转至放片区的焊臂单元放置芯片到所述放片区。
其中,所述芯片供送机构还包括:
第二驱动装置,与所述旋转装置连接,用于向所述旋转装置提供驱动力。
其中,所述旋转装置包括:
绕轴线作旋转运动的轴承;
套设于所述轴承上的轴套。
其中,所述焊臂单元设置于所述轴套上。
其中,所述焊臂单元与所述轴套通过弹性装置连接。
其中,所述第一驱动装置包括:
第一驱动单元,位于拾片区一预设位置处,用于驱动旋转至拾片区的焊臂单元从所述拾片区拾取芯片;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中电科电子装备有限公司,未经北京中电科电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410820522.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造