[发明专利]一种芯片供送机构及粘片机有效

专利信息
申请号: 201410820522.6 申请日: 2014-12-25
公开(公告)号: CN105789101B 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 于丽娜 申请(专利权)人: 北京中电科电子装备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;黄灿
地址: 100176 北京市经*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 机构 粘片机
【说明书】:

发明提供一种芯片供送机构及粘片机,涉及机械制造领域,其中,该芯片供送机构包括:旋转装置,能够绕轴线作旋转运动;一个焊臂单元,绕所述旋转装置的轴线分布于所述旋转装置上;第一驱动装置,用于驱动旋转至拾片区的焊臂单元从所述拾片区拾取芯片,以及用于驱动旋转至放片区的焊臂单元放置芯片到所述放片区。本发明的芯片供送机构中θ向旋转和Z向往复运动分别使用两种驱动方式,去掉了价格昂贵、精度要求高的花键轴承,保证拾放臂刚度高、系统成本低。该拾放芯片的方式大大提高了粘片机的粘接速度和粘接精度,提高了机器的一致性和产品品质。

技术领域

本发明涉及机械制造领域,特别是涉及一种芯片供送机构及粘片机。

背景技术

传统粘片机构(也可叫芯片供送机构),常见的有两种。一种是使用花键轴承带动拾放臂在θ向旋转、Z向往复进行拾放片,如图1所示。电机驱动安装在偏心轴座11的偏心轴12上。偏心轴12轴端安装有轴承13,以减小机构运行时的摩擦阻力。压盖14和芯片拾放臂18固定在花键轴16上。花键轴16安装在轴承座17上进行Z向和θ向运动。拾取芯片时,轴承13推动压盖14,带动花键轴16和芯片拾放臂18作Z向向下运动,从蓝膜19上拾取芯片。然后,伺服电机带动偏心轴12反向转动,花键轴16和芯片拾放臂18在压缩弹簧15的带动下作Z向抬升运动,完成芯片的拾取动作。接着,θ向伺服电机带动花键轴16作θ向旋转,到达料架20位置进行放片。再经过类似的Z向运动将芯片放置在料架上。该种粘片方式需使用θ向、Z向都可运动的花键轴承,其精度要求高,目前只有极少数厂家能加工,价格很贵。另外,该粘片方式下,拾放力不可控。虽然这种粘片方式所需力矩较小,但臂前端刚性较低,在高速运转时,容易造成振动,导致粘片精度差、效率低。

另一种粘片机构,利用直线电机带动拾放臂在Y向、Z向运动进行拾放片,如图2所示。其拾放机构主要由分拆式直线电机、带真空吸嘴的焊臂组成。焊臂用于把芯片从拾片区移到粘接位置处。这种方式下,焊臂的运动轨迹均为直线运动,与旋转运动相比,不存在力放大效应,需要更大的电机力。另外,线性马达、线性编码器等部分全部加载在焊臂上,导致焊臂很重,加速度很难提高,严重影响粘片速度。

基于上述内容,无论是花键轴承型还是直线电机型通常拾放臂较重、刚度差、力不可控、成本高、粘片精度差、速度低。

发明内容

本发明的目的是提供一种芯片供送机构及粘片机,芯片供送结构中焊臂单元由拾片区运动到放片区θ向的旋转,及焊臂单元在拾放芯片的过程中Z向的往复运动,其中θ向旋转和Z向往复运动分别使用两种驱动方式,去掉了价格昂贵、精度要求高的花键轴承,保证拾放臂刚度高、系统成本低。该供送机构大大提高了粘片机的粘接速度和粘接精度,提高了机器的一致性和产品品质。

为了解决上述技术问题,本发明提供了一种芯片供送机构,包括:

旋转装置,能够绕轴线作旋转运动;

一个焊臂单元,绕所述旋转装置的轴线分布于所述旋转装置上;

第一驱动装置,用于驱动旋转至拾片区的焊臂单元从所述拾片区拾取芯片,以及用于驱动旋转至放片区的焊臂单元放置芯片到所述放片区。

其中,所述芯片供送机构还包括:

第二驱动装置,与所述旋转装置连接,用于向所述旋转装置提供驱动力。

其中,所述旋转装置包括:

绕轴线作旋转运动的轴承;

套设于所述轴承上的轴套。

其中,所述焊臂单元设置于所述轴套上。

其中,所述焊臂单元与所述轴套通过弹性装置连接。

其中,所述第一驱动装置包括:

第一驱动单元,位于拾片区一预设位置处,用于驱动旋转至拾片区的焊臂单元从所述拾片区拾取芯片;

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