[发明专利]一种用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源在审
| 申请号： | 201410816245.1 | 申请日： | 2014-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105779944A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 赵岳;申绪男;乔在祥;赵彦民 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 李凤 |
| 地址： | 300384 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 cigs 太阳电池 线性 蒸发 | ||
1.一种用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特征是：用于制备CIGS太阳电池的 线性蒸发源的炉体电阻丝采用分区加热方式，分为底部加热器、侧边加热丝和顶部 加热单元；底部加热器的加热丝盘绕于底部均匀的线槽内，侧边加热丝均布在炉体 外侧的走线槽内，侧边加热丝外包覆保温层，顶部加热器单元置入下绝缘盖板上方， 顶部加热器单元上放置上绝缘盖板。
2.根据权利要求1所述的用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特征是：侧边加热 丝外包覆的保温层外部采用水冷的方式降低高温源与低温源之间的影响。
3.根据权利要求2所述的用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特征是：水冷的方 式为水冷隔板，水冷隔板内通有冷却水。
4.根据权利要求1所述的用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特征是：炉体的物 料蒸发口的开放形式为顶部外加喷嘴形状，实现蒸发源对各种蒸发条件的适应性。
5.根据权利要求1所述的用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特征是：炉体采用 石墨或不锈钢材质，侧边加热丝采用铠装镍铬加热丝。
6.根据权利要求1所述的用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特征是：下绝缘盖 板选用陶瓷材料，与炉体之间采用机械密封的形式连接。
7.根据权利要求6所述的用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特征是：下绝缘盖 板下部突起与炉体上沿的凹槽构成机械密封。
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