[发明专利]光声成像内窥镜

权利要求书

1.一种光声成像装置，包括:

光源，用于提供光束；

微机电衬底；

反射镜，用于将所述光源提供的光束反射到被成像对象上，所述反射镜通过微机电工艺被直接制造在所述微机电衬底上，并且所述反射镜被设置成能相对于所述微机电衬底转动以将所述光束反射到所述被成像对象上的不同位置；以及

超声传感器阵列，用于接收来自所述被成像对象的通过光声转换形成的超声波，

其中所述超声传感器阵列与所述反射镜装配在一起，使得所述超声传感器阵列与所述反射镜能同步地转动。

2.如权利要求1所述的光声成像装置，其特征在于，所述超声传感器阵列包括电容式微机电超声传感器阵列。

3.如权利要求1-2中的任一项所述的光声成像装置，其特征在于，所述超声传感器阵列进一步用于向所述被成像对象发射超声波。

4.如权利要求1-2中的任一项所述的光声成像装置，其特征在于，还包括在所述微机电衬底上直接形成的固定装置，所述光源通过所述固定装置被固定于所述微机电衬底上。

5.如权利要求4中所述的光声成像装置，其特征在于，所述固定装置包括至少一个沟槽和至少一个夹具，所述光源通过所述至少一个夹具被限制在所述至少一个沟槽中。

6.如权利要求1-2中任一项所述的光声成像装置，其特征在于，还包括致动器，所述致动器与所述反射镜耦合以实现所述反射镜的转动。

7.如权利要求6所述的光声成像装置，其特征在于，所述致动器包括双晶致动器，所述反射镜经由所述双晶致动器连接在固定物上，所述双晶致动器具有两种不同性质的材料以构成悬臂梁结构，所述两种不同性质的材料在相应的物理参数发生变化时产生不同的应力，从而使悬臂梁结构弯曲而改变所述反射镜的方向。

8.如权利要求6所述的光声成像装置，其特征在于，所述致动器包括压电致动器，其中所述反射镜经由悬臂梁连接在固定物上，所述压电致动器附连在所述悬臂梁上，通过控制对所述压电致动器施加的电信号，所述压电致动器内的应力使所述悬臂梁弯曲来实现所述反射镜的转动。

9.一种光声成像内窥镜，包括：

微机电衬底；

光源，用于提供光束，所述光源通过固定装置被固定于所述微机电衬底上；

反射镜，用于将所述光源提供的光束反射到被成像对象上，所述反射镜被直接形成在所述微机电衬底上；

致动器，所述致动器与所述反射镜耦合以实现所述反射镜相对于所述微机电衬底的转动，以使所述反射镜将所述光束反射到所述被成像对象上的不同位置；

电容式微机电超声传感器阵列，用于接收来自所述被成像对象的通过光声转换形成的超声波；

密封罩，所述微机电衬底、所述光源、所述反射镜、所述致动器、所述电容式微机电超声传感器阵列被组装在所述密封罩内，所述密封罩具有光学窗口和声学窗口，所述光学窗口允许所述光源提供的光束穿透所述光学窗口，所述声学窗口允许所述电容式微机电超声传感器阵列发送和接收超声波；

其中，所述固定装置包括至少一个沟槽和至少一个夹具，所述光源通过所述至少一个夹具被限制在所述至少一个沟槽中；

其中，所述电容式微机电超声传感器阵列与所述反射镜装配在一起，从而使得所述电容式微机电超声传感器阵列与所述反射镜能同步地转动；以及

其中所述超声传感器阵列进一步用于向所述被成像对象发射超声波。

10.一种光声成像内窥镜，包括：

微机电衬底；

光源，用于提供光束，所述光源通过固定装置被固定于所述微机电衬底上；

反射镜，用于将所述光源提供的光束反射到被成像对象上，所述反射镜被直接形成在所述微机电衬底上；

致动器，所述致动器与所述反射镜耦合以实现所述反射镜相对于所述微机电衬底的转动，以使所述反射镜将所述光束反射到所述被成像对象上的不同位置；

电容式微机电超声传感器阵列，用于接收来自所述被成像对象的通过光声转换形成的超声波；

密封罩，所述微机电衬底、所述光源、所述反射镜、所述致动器、所述电容式微机电超声传感器阵列被组装在所述密封罩内，所述密封罩具有光学窗口和声学窗口，所述光学窗口允许所述光源提供的光束穿透所述光学窗口，所述声学窗口允许所述电容式微机电超声传感器阵列发送和接收超声波；

其中，所述固定装置包括至少一个沟槽和至少一个夹具，所述光源通过所述至少一个夹具被限制在所述至少一个沟槽中；以及

其中，所述电容式微机电超声传感器阵列与所述反射镜装配在一起，从而使得所述电容式微机电超声传感器阵列与所述反射镜能同步地转动。