[发明专利]一种作为溅射靶材的铝靶材与铝合金背板的连接方法

权利要求书

1.一种作为溅射靶材的铝靶材与铝合金背板的连接方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

I.在铝靶材连接面上加工出圆形凸台，在铝合金背板连接面上加工出形状、位置与该凸台相对应的圆形嵌槽；

II.将铝靶材的凸台嵌合在铝合金背板的嵌槽中；

III.采用真空电子束焊接将靶材与背板边缘进行封焊形成靶材组件；IV.将靶材组件进行热处理，加热温度为150-450℃，保温时间0.5-2h；

V.将热处理后的靶材组件热压，压强为80～350MPa，保压时间0.2-2h。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述铝靶材材料为纯铝、铝硅合金、铝铜合金或铝硅铜合金；所述铝合金背板材料为普通硬铝、5系铝合金、6系铝合金或7系铝合金。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述凸台上加工出多个凸缘，每个凸缘为环型，凸缘呈同心环形排布；所述嵌槽上加工出多个凹槽，每个凹槽为环型，多个凹槽呈同心环形排布，且其尺寸和位置分别与该多个凸缘相对应。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述每个凸缘宽为0.3-4mm，高度为0.2-4mm，排列间距为0.5-8mm。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述凸缘的轴向横截面为矩形，所述凹槽的轴向横截面为梯形，凸缘的截面面积不大于凹槽的截面面积。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述铝合金背板相邻两凹槽间的突起齿形部轴向横截面为三角形、M形或其它复合形状。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法，其特征在于，所述凸台的直径为200～450mm，凸台与嵌槽的尺寸配合公差为0-0.5mm。

8.根据权利要求3-6中任一项所述的方法，其特征在于，所述凸台、嵌槽、凸缘和凹槽采用车床加工形成。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括步骤VI：将热压后组件放入热处理炉中进行扩散处理，扩散处理温度150～450℃，保温时间为1～4h。