[发明专利]一种高精度氧化铝抛光粉的制备方法

权利要求书

1.一种高精度氧化铝抛光粉的制备方法，其特征在于：各组分质量比Al₂O₃: SiO₂=12:1～8:3, CeO₂: TiO₂=1:1～3:1。

2.权利要求1所述的高精度氧化铝抛光粉，其特征在于：抛光粉晶型为α-氧化铝，其抛光粉初始抛蚀量大于0.30 mg/(cm²·min)，连续抛光8h后抛光粉的抛蚀量仍大于0.15 mg/(cm²·min)；抛光蓝宝石玻璃后玻璃表面在10μm×10μm范围内的粗糙度RMS值降至0.15nm以下。

3.根据权利要求1所述的高精度氧化铝抛光粉的制备方法，其特征在于，方法步骤为：

1）按质量比硝酸铝：硅溶胶=6:1～1:1，硝酸铈:氧化钛粉末=5:2～21:25取料，先将硅溶胶溶于乙醇和水的混合溶液中得到溶液①，在分别取铝和铈的硝酸盐试剂，各自配置成溶液，得到溶液②和③，将①②③溶液混合并加入氧化钛粉末，然后加入分散剂，在搅拌的情况下至溶液混合均匀；

2）将步骤1）得到的混合均匀的溶液经喷雾干燥仪喷雾干燥，得到固体粉末颗粒；

3）将步骤2）中所得粉末颗粒在旋转管式炉中煅烧，先将粉末颗粒在180～300℃温度间预烧，保温0.5～3h，再升温到1050～1450℃，煅烧保温0.3～11h后随炉冷却，得到α-氧化铝抛光粉；实验中旋转管式炉参数设置为炉子升温速率为3～15℃/min，筒体转动速度为2～10转/分，倾斜角度为 0-25度。

4.根据权利要求3所述的高精度氧化铝抛光粉的制备方法，其特征在于，分散剂的加入量为 0.1~1%。

5.根据权利要求3所述的高精度氧化铝抛光粉的制备方法，其特征在于，喷雾干燥仪的试验参数设定为：超声波喷雾仪的频率为0.5～3.5 MHz，空气流量设置为650～1000 L/h，出口温度为75～95℃，空压机压力2.0～4.5 Bar，风机转动频率50 Hz，进料量5%～60 %，通针频率5～30 s/次。