[发明专利]一种外腔半导体激光器光路调整装置及调整方法

权利要求书

1.一种外腔半导体激光器光路调整装置，其特征在于设有半导体增益器件、准直透镜、分束镜、分光元件、聚焦透镜、CCD摄像机和显示屏；

所述半导体增益器件、准直透镜、分束镜、分光元件依次同轴排列，聚焦透镜和CCD摄像机依次设在分束镜的反射光路上，CCD摄像机的输出端口接显示屏的输入端。

2.如权利要求1所述一种外腔半导体激光器光路调整装置，其特征在于所述半导体增益器件为具有光增益的半导体发光器件，包括但不限于边发射半导体激光器、超辐射发光二极管、光放大器。

3.如权利要求1所述一种外腔半导体激光器光路调整装置，其特征在于所述准直透镜为具有光学准直作用的光学镜片，能将半导体增益器件发出的光束准直为平行光束，包括但不限于非球面透镜、双胶合透镜、物镜镜头。

4.如权利要求1所述一种外腔半导体激光器光路调整装置，其特征在于所述分束镜为厚度小于1mm，可将入射光束分成具有透射与反射两束光的光学元件；所述分束镜被安装在一置物台上，可在光路系统中移进移出，即调整外腔光路时将其移入光路系统。

5.如权利要求4所述一种外腔半导体激光器光路调整装置，其特征在于所述透射与反射两束光的光强比为1∶1。

6.如权利要求1所述一种外腔半导体激光器光路调整装置，其特征在于所述分光元件采用衍射光栅。

7.如权利要求1所述一种外腔半导体激光器光路调整装置，其特征在于所述聚焦透镜为具有光学聚焦作用的光学镜片，能将光束聚焦于CCD摄像机中，包括但不限于焦距为5cm的凸透镜或平凸透镜。

8.如权利要求1所述一种外腔半导体激光器光路调整装置，其特征在于所述CCD摄像机位于聚焦透镜的焦点上，使外腔反馈光斑及半导体增益器的内腔腔面成像于CCD摄像机表面。

9.一种外腔半导体激光器光路调整方法，其特征在于采用如权利要求1～7中任一所述一种外腔半导体激光器光路调整装置，所述调整方法包括以下步骤：

步骤1：当对外腔半导体激光器进行光路调整时，通过平移或旋转置物台将分束镜移入光路中；

步骤2：将半导体增益器件激射后的激光通过准直透镜进行准直后射向分束镜，此时一部分激光光强透过分束镜射向分光元件，另一部分激光光强被分束镜反射后射向聚焦透镜；

步骤3：透射光在分光元件上发生多级衍射，通过调节分光元件的角度将一级衍射光反馈到半导体增益器件内腔腔面附近；

步骤4：通过调节聚焦透镜将经过分束镜的反射光聚焦于CCD摄像机中，此时在显示屏上显示出半导体增益器件的内腔腔面以及经分光元件的外腔反馈光斑，通过对准直透镜和分光元件进行多维状态微调整，调节反馈光斑的尺寸和位置，最终使反馈光斑和内腔腔面完全重合，获得外腔激光器光路的最佳状态；

步骤5：当对外腔半导体激光器光路调整完成后，通过再次平移或旋转置物台将分束镜移出光路，避免外腔激光器的输出光损失。