[发明专利]一种掺钕三硼酸钙氧钇晶体的生长方法在审
| 申请号: | 201410791687.5 | 申请日: | 2014-12-19 |
| 公开(公告)号: | CN104451881A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
| 发明(设计)人: | 侯玉国 | 申请(专利权)人: | 单县晶瑞光电有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/22 | 分类号: | C30B29/22;C30B15/00 |
| 代理公司: | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人: | 张贵宾 |
| 地址: | 274000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掺钕三 硼酸 钙氧钇 晶体 生长 方法 | ||
(一) 技术领域
本发明涉及一种晶体生长领域,特别涉及一种掺钕三硼酸钙氧钇晶体的生长方法。
(二) 背景技术
倍频作为一种重要的频率转换手段,已经广泛的应用于光存储、激光打印、激光指示、深海探测与通信、军事指挥等关系到国际民生的领域,并在激光显示等领域展示了重要的应用前景。作为一种重要的倍频材料,硼酸钙氧钇 YCa4O(BO3)3( 以下简写 :YCOB) 或者硼酸钙氧钆 Ca4O(BO3)3,( 简写 :GdCOB] 自其发明以来,就受到了人们的广泛关注,并以之作为变频晶体实现了倍频以及三倍频的激光输出。该类材料属于单斜晶系,具有非线性系数大、抗光损伤阈值高、透过波段宽、可用提拉法生长等优点。除此之外,进行离子 ( 如 Nd,Yb) 掺杂之后,该类材料还是一种很好的自倍频激光晶体,同时具有了激光和变频的特性,实现了多功能复合以及器件的小型化,符合功能材料的发展趋势。但是传统的自倍频激光晶体生长是采用感应线圈加热的方式,铜管要有冷却水循环,功率大,噪音大等特点。感应加热时采用铱金坩埚,国内无铱金资源,均从英国、南非进口,价格昂贵,目前每公斤高达30万元人民币,每台设备需用8公斤左右,高达240万,设备80万-100万元。每台设备(单晶炉)投资高达340万左右,成本高、价格高。
(三) 发明内容
本发明为了弥补现有技术的不足,提供了一种掺钕三硼酸钙氧钇晶体的生长方法。
本发明是通过如下技术方案实现的:
一种掺钕三硼酸钙氧钇晶体的生长方法,其特征在于:包括如下步骤:(1)原料制备:按照硼酸钙氧盐的化学方程式的化学计量比称取原料,将原料掺钕 (Nd3+) 硼酸钙氧钇 NdxY1-xCa4O(BO3)3,通过硅钼马弗炉烧结,烧结温度为1400-1500摄氏度,并恒温30个小时,去除潮气及其他矿物杂质;
(2)压制成型:将上述配好的原料经过自动混料机混料后,通过压制机压成圆片型;
(3)抽真空:在抽真空之前,先检查排气阀是否打紧,防止在抽真空的过程中漏气;启动控制柜,打开机械泵,进行抽真空;
(4)设置系统:晶体生长采用自动控制称重系统,采用JPG自动控制软件,设定晶体类型的浓度、尺寸、外型、及长度设定入软件。产品参数计入计算机自动控制工艺参数自动生长;
(5)升温熔料:在升温熔料的过程中,根据原料熔化下塌的情况,缓慢的提升埚位,使得原料均匀融化;
(6)下籽晶:首先根据炉内情况调整温度,并进行恒温,同时下降籽晶进行预热,调节晶体转速为15r/min,当调温恒温一段时间后,将籽晶摇下与熔体接触,仔细观察并调整炉温,恒温30-60min;
(7)引晶:开启提拉电源,调拉速为1.0-2.0mm/h;
(8)放肩:在放肩的过程中,程控一般为负值,随着放肩的直径变大,程控值也加大,直到开始转肩。放肩到Φ20mm时,拉速以每小时0.1mm下调到1mm/h;
(9)拉伸:当生长长度达到70mm时。拉速由1.5-2.5mm/h以每小时降低0.1mm降至1.5mm/h,根据工艺要求,确定所要拉的长度;
(10)停炉:结束生长时,人工提起晶体使其脱离液面,然后停拉缓慢退火至室温,退火时间为20-40h。
步骤4具体为:启动控制柜,打开机械泵,将三通阀门缓慢拉开,真空度达到-0.06MPa时,完全打开三通阀门,等5-10分钟开启真空测量仪,当15Pa时,关闭三通阀门,打开循环水,开启扩散泵,打开挡板阀;当真空度达到1-0.1Pa时,记录真空值,进行预加热。先开启加热电源,手动升OP值,使电流电压表有启动,再设置Prl为3600uv/h,PL1为3mv,继续抽真空。
步骤6具体为:当原料塌平于埚时,升至平晶埚位,继续观察化料情况,并根据化料情况缓慢提升埚位,当埚内浮块小于Φ20mm时,升至引晶埚内,并放气到20KPa;升至引晶埚位后,缓慢调整温度变化,调温至浮块刚好熔完,恒温均化。
所述熔炉内充入氩气气体,熔炉采用石墨电阻加热。
所述掺钕三硼酸钙氧钇晶体在钼坩埚中生长。
Nd3+掺杂浓度 x 是 0.001-0.25at.。
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