[发明专利]一种压电薄膜泵及其制作方法

权利要求书

1.一种压电薄膜泵，其特征在于，自上到下依次包括盖板(2)、压电膜(1)、用于为流体流动提供通道的通道层(3)、以及基板，盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板之间相互连接；

所述压电膜(1)的上表面及下表面正对镀有导电膜区，导电膜区包括压电薄膜泵的工作区电极(4)以及与压电薄膜泵的工作区电极相连接的导通区域(5)；

所述盖板(2)上开设有第一通孔(6)，第一通孔(6)正对压电膜(1)上对应的压电薄膜泵的工作区电极(4)，通道层(3)上开设有流体通道，流体通道的一端与外界相连通，流体通道包括第二通孔(7)、储液池通孔(8)、收液池通孔(9)及通道槽孔(10)，第二通孔(7)正对第一通孔(6)，第二通孔(7)与收液池通孔(9)及储液池通孔(8)之间均通过通道槽孔(10)相连通。

2.根据权利要求1所述的压电薄膜泵，其特征在于，所述压电膜(1)为已经极化且不带电极层的具有压电效应的压电薄膜。

3.根据权利要求1所述的压电薄膜泵，其特征在于，所述盖板(2)、通道层(3)及基板均由玻璃、硅、二氧化硅、陶瓷、有机玻璃、聚丙烯、聚酰亚胺、聚四氟乙烯、有机硅烷、纸、尼龙及橡胶中一种或者对其进行改性或复合而成的材料制作而成。

4.根据权利要求1所述的压电薄膜泵，其特征在于，所述储液池通孔(8)中的液体向第二通孔(7)中流入过程中的阻力与收液池通孔(9)中的液体向第二通孔(7)中流入过程中的阻力不同；

所述第二通孔(7)中的液体向储液池通孔(8)中流入过程中的阻力与第二通孔(7)中的液体向收液池通孔(9)中流入过程中的阻力不同。

5.根据权利要求1所述的压电薄膜泵，其特征在于，所述通道槽孔(10)为梯形结构或Y型结构。

6.根据权利要求1所述的压电薄膜泵的制作方法，其特征在于，基于权利要求1所述的压电薄膜泵，包括以下步骤：

1)取一定形状的压电膜(1)，将压电膜(1)按照极化方向固定在夹具上，并在所述压电膜(1)的上表面及下表面分别镀导电膜，使压电膜(1)的上表面及下表面均形成镀膜区，所述镀膜区包括压电薄膜泵的工作电极区(4)及与压电薄膜泵的工作区电极相连接的导通区域(5)；

2)取盖板(2)、通道层(3)及基板，再在盖板(2)上开设第一通孔(6)，并在通道层(3)上开设储液池通孔(8)、收液池通孔(9)、通道槽孔(10)、以及正对第一通孔(6)的第二通孔(7)，第一通孔(6)正对压电膜(1)上压电薄膜泵的工作区电极(4)，然后再将盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板自上到下依次固定连接，最后给导通区域(5)上连接测试引线，得压电薄膜泵。