[发明专利]高温低摩擦涂层及其方法

权利要求书

1.一种高温低摩擦涂层，包括：

CrN粘合层，其布置在硝化基材上以改善所述涂层的密着性；

TiAlCrYN纳米多层支撑层，其布置在所述CrN粘合层上以实现所述涂层的耐热性、耐疲劳性、耐磨性和韧性；以及

TiAlCrYCN纳米多层功能层，其布置在所述TiAlCrYN纳米多层支撑层上以实现所述涂层的耐热性、耐氧化性、胶着性、韧性和低摩擦性。

2.根据权利要求1所述的涂层，其中所述TiAlCrYN纳米多层支撑层的厚度在0.5μm至10μm的范围内，且

所述TiAlCrYCN纳米多层功能层的厚度在0.5μm至10μm的范围内。

3.根据权利要求1所述的涂层，其中相对于所述TiAlCrYCN纳米多层功能层的全部原子，所述TiAlCrYCN纳米多层功能层中的YC含量在2at.％至30at.％的范围内。

4.根据权利要求1所述的涂层，其中所述TiAlCrYN纳米多层支撑层中的Ti：Al：Cr的原子比是约1：1：1。

5.一种形成高温低摩擦涂层的方法，包括以下步骤：

在腔室内部施加真空，通过注入氩气生成氩离子的等离子态，然后通过使氩阳离子撞击硝化基材的表面而清洁和活化所述基材的表面；

将氮气(N₂)注入到所述腔室中以供给N离子，然后通过使用供给Cr离子的Cr靶在所述基材表面上形成CrN粘合层；

通过使用供给TiAl离子的TiAl靶、供给Cr离子的所述Cr靶和供给Y离子的Y靶，在所述CrN粘合层上形成TiAlCrYN纳米多层支撑层；以及

将乙炔气体(C₂H₂)注入到所述腔室中以供给C离子，然后通过使用供给TiAl离子的所述TiAl靶、供给Cr离子的所述Cr靶和供给Y离子的所述Y靶，在所述TiAlCrYN纳米多层支撑层上形成TiAlCrYCN纳米多层功能层。

6.根据权利要求5所述的方法，其中在形成TiAlCrYN纳米多层支撑层的步骤中，所述TiAlCrYN纳米多层支撑层以0.5μm至10μm的厚度形成；且

在形成TiAlCrYCN纳米多层功能层的步骤中，所述TiAlCrYCN纳米多层功能层以0.5μm至10μm的厚度形成。

7.根据权利要求5所述的方法，其中在形成TiAlCrYCN纳米多层功能层的步骤中，相对于所述TiAlCrYCN纳米多层功能层的全部原子，所述TiAlCrYCN纳米多层功能层中的YC含量是2at.％至30at.％。

8.根据权利要求5所述的方法，其中在形成TiAlCrYN纳米多层支撑层的步骤中，在所述TiAlCrYN纳米多层支撑层中的Ti：Al：Cr的原子比是约1：1：1。

9.一种部件，其包括权利要求1所述的涂层。

10.根据权利要求9所述的部件，所述部件是涡轮增压器、涡轮叶轮或铝压铸模。

11.一种车辆，其包括权利要求9所述的部件。