[发明专利]一种用于大功率气体放电电子枪的逆变电源装置

权利要求书

1.一种用于大功率气体放电电子枪的逆变电源装置，其特征是，所述的逆变电源装置包括：

与380V工频交流电相联接的第一级整流滤波电路(1)；

与所述第一级整流滤波电路(1)相联接的第一逆变桥电路(2)；

与所述第一逆变桥电路(2)相联接的第一电压变换与整流滤波电路(3)；

与所述第一逆变桥电路(2)相联接的第一驱动电路(10)以及第一电流采样电路(11)；

与所述第一电流采样电路(11)以及第一驱动电路(10)相联接的第一脉冲宽度调制PWM控制电路(9)；

与所述第一电压变换与整流滤波电路(3)以及第一PWM控制电路(9)相联接的第一电压采样电路(16)；

与所述第一电压变换与整流滤波电路(3)相联接的第二逆变桥电路(4)；

与所述第二逆变桥电路(4)相联接的第二电压变换与整流滤波电路(5)；

与所述第二逆变桥电路(4)相联接的第二驱动电路(13)以及第二电流采样电路(14)；

与所述第二电流采样电路(14)以及第二驱动电路(13)相联接的第二PWM控制电路(12)；

分别与所述第一PWM控制电路(9)以及第二PWM控制电路(12)相联接的高压采样电路(7)。

2.根据权利要求1所述的用于大功率气体放电电子枪的逆变电源装置，其特征是，所述的逆变电源装置还包括：

与所述第二电压变换与整流滤波电路(5)相联接的限流电阻(6)；

所述380V工频交流电经过所述第一级整流滤波电路(1)变成500V直流电，所述500V直流电经过所述第一逆变桥电路(2)逆变、经过所述第一电压变换与整流滤波电路(3)后变换成0～500V变化的直流电，再经过所述第二逆变桥电路(4)逆变、经过所述第二电压变换与整流滤波电路(5)的升压及整流滤波变换成0～-30kV可调的电压，最后经过所述限流电阻(6)后输出。

3.根据权利要求2所述的用于大功率气体放电电子枪的逆变电源装置，其特征是，所述的逆变电源装置还包括：

与所述第二电压变换与整流滤波电路(5)相联接的束流采样电路(8)，用于采集束流信号，并将所述束流信号反馈至与所述束流采样电路(8)相联接的气体质量流量控制电路(15)；

所述的气体质量流量控制电路(15)，用于将所述束流信号与预先设定的束流进行比较，经过PID调节后输出控制信号，所述控制信号用于调整输入到大功率气体放电电子枪中的混合气体流量。

4.根据权利要求2或3所述的用于大功率气体放电电子枪的逆变电源装置，其特征是，所述第一整流滤波电路(1)包括：

与工频380V交流电的输入端联接的第一整流电路，所述第一整流电路为三相整流桥；

一端与所述第一整流电路的正输出端相联接的一滤波电感；

所述滤波电感的另一端联接于电路D点，所述第一整流电路的负输出端联接电路J点；

并联于电路D点和J点之间的滤波电容。

5.根据权利要求4所述的用于大功率气体放电电子枪的逆变电源装置，其特征是，所述第一逆变桥电路(2)包括第一绝缘栅双极型晶体管、第二绝缘栅双极型晶体管、第三绝缘栅双极型晶体管、第四绝缘栅双极型晶体管、隔直电容以及电流互感器；

其中，所述第一绝缘栅双极型晶体管的集电极与第三绝缘栅双极型晶体管的集电极联接，所述第一绝缘栅双极型晶体管的发射极与第二绝缘栅双极型晶体管的集电极联接，所述第三绝缘栅双极型晶体管的发射极与第四绝缘栅双极型晶体管的集电极联接，所述第二绝缘栅双极型晶体管的发射极与第四绝缘栅双极型晶体管的发射极联接，所述隔直电容与所述第一电流采样电路中(11)的电流互感器串联。