[发明专利]一种散热模块及其制备方法、散热设备、电子设备有效
| 申请号: | 201410773376.6 | 申请日: | 2014-12-15 |
| 公开(公告)号: | CN104392973B | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
| 发明(设计)人: | 赵潇;胡国俊 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号: | H01L23/473 | 分类号: | H01L23/473;H05K7/20;H01L21/48 |
| 代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)34124 | 代理人: | 丁瑞瑞 |
| 地址: | 230001 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 散热 模块 及其 制备 方法 设备 电子设备 | ||
1.一种微流体通道的散热模块,其包括金属底板、金属封盖、进液接口、出液接口;该封盖固定在该底板上并与该底板之间形成腔体,该腔体用于收容冷却剂;该进液接口与该出液接口分别设置在该封盖的两侧上,且均与该腔体相通供该冷却剂进、出;其特征在于:该封盖从一侧到相对另一侧形成有向该腔体内凸进且抵持在该底板上的若干凸包,该若干凸包呈阵列式分布,相邻凸包之间形成供该冷却剂流通的通道,该若干凸包均位于该进液接口与该出液接口之间用于导引该冷却剂从该进液接口流向该出液接口。
2.如权利要求1所述的微流体通道的散热模块,其特征在于:
定义平行于该进液接口与该出液接口的连接方向为行,而垂直于该进液接口与该出液接口的连接方向为列,相邻两行凸包之间的通道水力直径为相邻两列凸包之间的通道水力直径的0.5~2倍。
3.如权利要求1所述的微流体通道的散热模块,其特征在于:每个凸包呈长条形并平行于该进液接口与该出液接口的连接方向。
4.如权利要求1所述的微流体通道的散热模块,其特征在于:该通道的水力直径为0.1~0.8mm。
5.如权利要求1所述的微流体通道的散热模块,其特征在于:该进液接口、该出液接口与该封盖相接处分别设置有与该腔体连通的空腔。
6.一种如权利要求1至5中任意一项所述的微流体通道的散热模块的制备方法,其包括以下步骤:
提供金属底板、金属盖板、进液接口、出液接口;
对该盖板冲压形成封盖,该封盖具有冷却剂出入的出口和入口、位于该出口与该入口之间且连通该出口与该入口的凹槽;
将该封盖固定在该底板上,该凹槽由该底板覆盖使该封盖与该底板之间形成腔体;
将该进液接口、该出液接口分别固定在该入口、该出口上使该进液接口、该出液接口均与该腔体连通;
其特征在于:对该盖板冲压形成封盖时,该凹槽的槽底还冲压有向该凹槽内凸进的若干凸包;该散热模块最后用金属或硅材料通过焊接工艺封装成一体结构。
7.一种散热设备,其包括换热器及散热模块,其特征在于:该散热模块为如权利要求1至5中任意一项所述的微流体通道的散热模块,该换热器与该散热模块的出液接口连接。
8.如权利要求7所述的散热设备,其特征在于:该散热设备还包括微泵,该微泵与该进液接口连接,该微泵、该散热模块、该换热器连接成该冷却剂的强制循环通路。
9.一种电子设备,其包括至少一个电子元器件、用于对该至少一个电子元器件散热的散热模块或散热设备,其特征在于:该散热模块为如权利要求1至5中任意一项所述的微流体通道的散热模块,该散热设备为如权利要求7或8所述的散热设备;该散热模块的底板或该散热设备的底板固定在该至少一个电子元器件的表面上。
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