[发明专利]静电卡盘清洁固定器

权利要求书

1.一种用于在湿式清洁工艺中保护静电卡盘的清洁固定器组件，所述静电卡盘适于支撑半导体衬底，所述清洁固定器组件包括：

能与静电卡盘的背面对齐并啮合的密封板，所述密封板的直径大于所述静电卡盘的背面的直径，所述密封板包括：

袋状部，所述袋状部形成于所述密封板的表面上，所述袋状部具有袋状部深度并能接收所述静电卡盘的背面；以及

包围该袋状部的环形密封部；

与所述密封板的所述环形密封部啮合的第一O形环；

在所述密封板的所述袋状部中的多个通孔，所述多个通孔是形成在所述袋状部中的所有通孔；以及

多个第二O形环，每个包围所述密封板的所述袋状部中的所述多个通孔中的对应的一个以便在所述密封板的所述袋状部中形成的所有通孔被第二O形环包围；

其中

所述多个通孔被安排为与形成在所述静电卡盘的所述背面中的通道对齐，所述通道包括所述静电卡盘的所述背面中的升降销孔和氦孔，所述通孔能提供与所述通道的流体连通由此使得清洁媒质在其中流通，且

所述多个第二O形环被设定位置以允许所述清洁媒质与所述静电卡盘中的所述通道啮合，同时密封使得在所述湿式清洁工艺中所述清洁媒质不能到达所述静电卡盘的所述背面。

2.根据权利要求1所述的清洁固定器组件，其中所述袋状部深度对应于所述静电卡盘的所述背面突出的特征的高度。

3.根据权利要求2所述的清洁固定器组件，其中所述袋状部深度小于0.1英寸。

4.根据权利要求1所述的清洁固定器组件，其进一步包括设置在围绕所述密封板周向间隔开的孔中的多个紧固件以将所述静电卡盘紧固到所述密封板，所述多个紧固件能完全压紧全部第一O形环和第二O形环由此在所述湿式清洁工艺期间提供密封完整性。

5.根据权利要求4所述的清洁固定器组件，其中所述多个紧固件包括从3个至20个螺丝。

6.根据权利要求1所述的清洁固定器组件，其中所述密封板由选自由不锈钢、铝以及阳极化铝组成的群组中的材料制成。

7.一种清洁适于支撑半导体衬底的静电卡盘的方法，所述方法包括：

将所述静电卡盘安装在清洁固定器组件上，所述清洁固定器组件包括：

能与静电卡盘的背面对齐并啮合的密封板，所述密封板的直径大于所述静电卡盘的背面的直径，所述密封板包括：

袋状部，所述袋状部形成于所述密封板的表面上，所述袋状部具有袋状部深度并具有能接收所述静电卡盘的背面；

包围该袋状部的环形密封部；

与所述密封板的所述环形密封部啮合的第一O形环；

在所述密封板的所述袋状部中的多个通孔，所述多个通孔是形成在所述袋状部中的所有通孔；以及

多个第二O形环，每个包围所述密封板的所述袋状部中的所述多个通孔中的对应的一个以便在所述密封板的所述袋状部中形成的所有通孔被第二O形环包围；

将所述静电卡盘置于所述清洁固定器组件上，使得所述多个通孔与所述静电卡盘的所述背面中形成的通道对齐并流体连通，所述通道包括所述静电卡盘的所述背面中的升降销孔和氦孔；

将所述静电卡盘紧固在所述清洁固定器组件上，使得所述密封板密封所述静电卡盘的所述背面区域，且所述多个第二O形环密封所述静电卡盘中的所述通道；以及

通过经由所述通孔经过所述通道流通清洁媒质而清洁所述静电卡盘；

其中所述清洁媒质在湿式清洁工艺中清洁所述静电卡盘中的所述通道但不到达所述静电卡盘的所述背面。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述清洁媒质选自由气压、酸、碱、水以及异丙醇组成的群组。

9.根据权利要求7所述的方法，其中对所述密封板、所述第一O形环和所述多个第二O形环的材料进行选择以与所述清洁媒质相容。

10.根据权利要求7所述的方法，其中清洁所述静电卡盘包括超声波清洁，在所述超声波清洁中，所述静电卡盘被浸在所述清洁媒质中。