[发明专利]一种规模化制备石墨烯薄膜的夹具及制备方法

权利要求书

1.一种规模化制备石墨烯薄膜的夹具，其特征在于，包括上栅格架(1)和下格栅架(2)，所述上格栅架(1)包括上格栅架半圆形固定框(1-1)和固定在所述上格栅架半圆形固定框(1-1)的内圆面上的若干竖直向下排布的上栅板(1-2)，相邻的所述上栅板(1-2)之间均设有上栅板间隙(1-3)，所述下格栅架(2)包括下格栅架半圆形固定框(2-1)和固定在所述下格栅架半圆形固定框(2-1)的内圆面下的若干竖直向上排布的下栅板(2-2)，相邻的所述下栅板(2-2)之间均设有下栅板间隙(2-3)，所述上栅板(1-2)插在所述下栅板间隙(2-3)内，所述下栅板(2-2)插在所述上栅板间隙(1-3)内，所述上格栅架半圆形固定框(1-1)与所述下格栅架半圆形固定框(2-1)抵接，所述上栅板(1-2)远离所述上格栅架半圆形固定框(1-1)的一边与所述下格栅架半圆形固定框(2-1)之间设有间隙，所述下栅板(2-2)远离所述下格栅架半圆形固定框(2-1)的一边与所述上格栅架半圆形固定框(1-1)之间设有间隙。

2.根据权利要求1所述的一种规模化制备石墨烯薄膜的夹具，其特征在于，所述上格栅架半圆形固定框(1-1)的两端均设有与所述上栅板(1-2)固定连接的上格栅架水平固定板(1-4)。

3.根据权利要求2所述的一种规模化制备石墨烯薄膜的夹具，其特征在于，所述下格栅架半圆形固定框(2-1)的两端均设有与所述下栅板(2-2)固定连接的下格栅架水平固定板(2-4)。

4.根据权利要求3所述的一种规模化制备石墨烯薄膜的夹具，其特征在于，所述上格栅架水平固定板(1-4)的底面上设有凸起(1-5)，所述下格栅架水平固定板(2-4)的顶面上设有与所述凸起(1-5)相匹配的凹槽(2-5)。

5.根据权利要求1至4任一项所述的一种规模化制备石墨烯薄膜的夹具，其特征在于，所述上栅板间隙(1-3)的间隙距离比所述下栅板(2-2)的厚度宽2mm至15cm。

6.根据权利要求1至4任一项所述的一种规模化制备石墨烯薄膜的夹具，其特征在于，所述下栅板间隙(2-3)的间隙距离比所述上栅板(1-2)的厚度宽2mm至15cm。

7.根据权利要求1至4任一项所述的一种规模化制备石墨烯薄膜的夹具，其特征在于，所述上栅板(1-2)和所述下栅板(2-2)的厚度均为2mm至10cm。

8.一种规模化制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，该方法通过使用如权利要求1-7任一项所述的夹具来实现石墨烯薄膜的制备，包括以下步骤：

步骤一，分开夹具的上格栅架(1)和下格栅架(2)，将石墨烯生长衬底(3)平铺在上格栅架(1)和下格栅架(2)之间，将上格栅架(1)和下格栅架(2)缓慢合拢，使得石墨烯生长衬底(3)填充在上栅板(1-2)和下栅板(2-2)之间的缝隙中，切断夹具外围多余的石墨烯生长衬底；

步骤二，将填装有石墨烯生长衬底(3)的夹具放入石墨烯生长装置中，采用化学气相沉积法沉积石墨烯薄膜。

9.根据权利要求8所述的一种规模化制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述上格栅架(1)和所述下格栅架(2)的材质为石英、陶瓷、碳纤维中的一种或多种组合。

10.根据权利要求8所述的一种规模化制备石墨烯薄膜的方法，其特征在于，所述石墨烯生长衬底(3)为材质为铜、镍、铁、钴、铂、钌中的一种或多种任意组成的合金的箔材。