[发明专利]拆卸式声波传感器信号测试装置

权利要求书

1.一种拆卸式声波传感器信号测试装置，其特征在于，所述拆卸式声波传感器信号测试装置包括：测试电路板、电极引线、盖板、柔性薄膜、底座以及声波传感器；

所述底座上设置有第一凹槽，所述声波传感器部分位于所述第一凹槽中，所述底座上还设置有定位销和螺孔，所述盖板通过所述定位销和螺孔固定于所述底座上，所述柔性薄膜固定于所述底座和盖板之间，所述柔性薄膜上设置有开口，所述开口与所述第一凹槽相对设置，所述开口的边缘压在所述声波传感器的边缘上；

所述声波传感器包括基片、以及沉积于所述基片上的地电极、引入电极、引出电极，所述地电极、引入电极、引出电极自所述开口处暴露出，所述测试电路板设置于所述盖板上，所述电极引线一端与所述测试电路板电性连接，另一端穿过所述盖板形成连接触头，所述连接触头与所述地电极、引入电极、引出电极进行电性连接。

2.根据权利要求1所述的拆卸式声波传感器信号测试装置，其特征在于，所述螺孔为四个，所述四个螺孔对称分布于所述底座上，所述定位销为两个，所述两个定位销相对设置于底座上，所述盖板上设置有四个螺钉，所述盖板的底面设置有插孔，柔性薄膜上开设有第一通孔和第二通孔，所述四个螺钉穿过所述第一通孔与所述螺孔相配合，所述定位销穿过所述第二通孔插接于所述插孔中。

3.根据权利要求1所述的拆卸式声波传感器信号测试装置，其特征在于，所述底座上还设置有第二凹槽，所述第一凹槽临近所述第二凹槽设置，并与所述第二凹槽相连通，所述第二凹槽的深度大于所述第一凹槽的深度。

4.根据权利要求1所述的拆卸式声波传感器信号测试装置，其特征在于，所述引入电极相对设置，所述引入电极之间设置有第一叉指电极，所述两个引入电极分别与所述第一叉指电极电性连接；所述引出电极相对设置，所述引出电极之间设置有第二叉指电极，所述两个引出电极分别与所述第二叉指电极电性连接。

5.根据权利要求1所述的拆卸式声波传感器信号测试装置，其特征在于，所述声波传感器可以为Lamb或FBAR声波传感器，所述Lamb以及FBAR声波传感器电极背部一侧设置有腐蚀槽，薄膜处硅基衬底厚度不超过10μm。

6.根据权利要求1所述的拆卸式声波传感器信号测试装置，其特征在于，所述引入电极与引出电极相对设置，所述引入电极和引出电极分别与各自振动部分相连接，所述声波传感器可以为SAW和Lamb传感器，SAW和Lamb传感器所述电极引线为五条；

所述声波传感器可以为FBAR传感器，所述FBAR传感器电极引线为三条，所述电极引线形成的各连接触头与所述地电极、引入电极、引出电极相接触。

7.根据权利要求1所述的拆卸式声波传感器信号测试装置，其特征在于，所述地电极、引入电极、引出电极的沉积厚度小于300nm。

8.根据权利要求1所述的拆卸式声波传感器信号测试装置，其特征在于，所述声波传感器的厚度与所述第一凹槽的深度之间的差值为20μm-300μm，第一凹槽设计长度和宽度均比对应声波传感器设计长度和宽度尺寸超出50-150μm。

9.根据权利要求1所述的拆卸式声波传感器信号测试装置，其特征在于，所述柔性薄膜为硅胶模，所述柔性薄膜的厚度范围为0.2mm-1.5mm。

10.根据权利要求1所述的拆卸式声波传感器信号测试装置，其特征在于，所述测试电路板还包括屏蔽线，所述测试电路板通过所述屏蔽线连接到外部测试装置上。