[发明专利]哈氏合金电解抛光工艺

说明书

技术领域：

    本发明属于抛光工艺技术领域，特别是涉及一种哈氏合金电解抛光工艺。

背景技术：

 哈氏合金电解抛光工艺，有其特别的重要性。IC装备用哈氏合金电解抛光要求：工件表面发暗无明显金属光泽。工件表面容易形成腐蚀点或花斑，影响工件功能。哈氏合金电解抛光制程与其他不锈钢工件电解抛光不同，一般电解抛光工艺处理哈氏合金工件，会导致工件表面发暗无明显光亮度且容易形成腐蚀点及花斑，无法满足客户要求。

发明内容

针对上述存在的技术问题，解决哈氏合金工件电解抛光过程中，工件表面发暗无明显光亮度且容易形成腐蚀点及花斑等问题，本发明的目的是提供一种哈氏合金电解抛光工艺。它通过调整前处理方式及控制过程得到良好的电解抛光效果。

本发明的目的是通过如下技术方案实现的：

本发明一种哈氏合金电解抛光工艺，包括如下步骤：

（1）对哈氏合金电解抛光工件进行干燥洁净预处理，保证工件表面无多余水分；

（2）对干燥洁净工件直接进行电解抛光处理：将吹干后工件用钛合金夹具，放入电抛槽后，立刻通电，通电方式为恒压直流，电解抛光，电流密度控制在5-7A/dm²；

（3）      将电抛后工件放入38-42℃的热水中清洗2min后吹干。

进一步地，所述预处理是将工件用水洗去除表面油污，使用压缩空气吹干工件表面。

进一步地，所述电解抛光溶液为 Isopol 140电解抛光药水，过程工艺参数为：温度：50-65℃，电压：8-12V，电解抛光60-120s。

进一步地，所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的1/3-1/5。

本发明的有益效果是：

本发明运用通用的电解抛光药液，通过调整前处理方式及控制过程得到良好的电解抛光效果，哈氏合金工件电解抛光表面外观良好，表面光亮度增加，具有明显金属光泽，无花斑腐蚀等问题，并且有效保证加工质量。

具体实施方式：

下面实施例对本发明进行详细描述。

实施例1：本发明哈氏合金电解抛光工艺，具体步骤如下：

（1）对哈氏合金电解抛光工件进行干燥洁净预处理，保证工件表面无多余水分；所述预处理是将工件用水洗去除表面油污，使用压缩空气吹干工件表面，以减少表面花斑。

（2）对干燥洁净工件直接进行电解抛光处理：将吹干后工件用钛合金夹具，放入电抛槽后，立刻通电，避免自然状态下工件在药水中腐蚀；通电方式为恒压直流，电流密度控制在5-7A/dm²；所述电解抛光溶液为 Isopol 140电解抛光药水，过程工艺参数为：温度：50-65℃，电压：8-12V，电解抛光：60-120s。所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的1/3-1/5。

（3）将电抛后工件放入38-42℃的热水中清洗2min后吹干。

实施例2：本例与实施例1不同的是：本例中工艺参数为：电流密度控制在5A/dm²；所述电解抛光过程工艺参数为：温度：50℃，电压：8V，电解抛光：60s。所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的1/3。将电抛后工件放入38℃的热水中清洗2min后吹干。

实施例3：本例与实施例1不同的是：本例中工艺参数为：电流密度控制在7A/dm²；所述电解抛光过程工艺参数为：温度： 65℃，电压： 12V，电解抛光： 120s。所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的1/5。将电抛后工件放入42℃的热水中清洗2min后吹干。

实施例4：本例与实施例1不同的是：本例中工艺参数为：电流密度控制在6A/dm²；所述电解抛光过程工艺参数为：温度：60℃，电压：10V，电解抛光：100s。所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的1/4。将电抛后工件放入40℃的热水中清洗2min后吹干。