[发明专利]一种偏光棱镜胶合误差的测量装置及方法

权利要求书

1.一种偏光棱镜胶合误差的测量装置，其特征在于：包括照明点光源、扩束准直系统与CCD探测器，扩束准直系统位于照明点光源与偏光棱镜之间，照明点光源发出的自然光经扩束准直系统扩束准直后垂直入射到偏光棱镜，所述CCD探测器位于偏光棱镜反射光的出射方向，CCD探测器与计算机相连。

2.根据权利要求1所述的一种偏光棱镜胶合误差的测量装置，其特征在于：所述偏光棱镜为格兰型偏光棱镜。

3.一种偏光棱镜胶合误差的测量方法，其特征在于包括以下步骤：

a在照明点光源与偏光棱镜之间放置扩束准直系统，照明点光源发出的自然光经扩束准直系统扩束准直后垂直入射到偏光棱镜；

b在偏光棱镜反射光的出射方向放置CCD探测器，并把CCD探测器与计算机相连；

c通过上述CCD探测器和计算机采集获得反射光干涉条纹光强的分布图样，根据干涉条纹光强的分布图样得出条纹间距，并利用以下算式计算得出胶合误差；

α=arc cot(2Δxno2-ne2sin2sϵλ+tanr)]]>

r=arcsin(nesin sno)]]>

式中，α为待测胶合误差角，λ为光波波长，s为棱镜的结构角，ε为与棱镜结构有关的比例系数，计算公式为r为光束在棱镜胶合层中的折射角，n₀为空气的折射率，n_e为棱镜对应入射光束的折射率，Δx为测得条纹间隔。