[发明专利]倒装高压发光器件及其制作方法有效
| 申请号: | 201410735775.3 | 申请日: | 2014-12-08 |
| 公开(公告)号: | CN104409466B | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
| 发明(设计)人: | 钟志白;江彦志;方秋艳;李佳恩;徐宸科 | 申请(专利权)人: | 厦门市三安光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L33/62;H01L33/50;H01L33/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 361009 福建省厦*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 倒装 高压 发光 器件 及其 制作方法 | ||
1.倒装高压发光器件,包括:
由多个相互串联的倒装发光单元构成的发光模组,具有相对的第一表面和第二表面,各个倒装发光单元之间具有间隙,每个发光单元包含n型半导体层、发光层和p型半导体层;
光转换层,形成于所述发光模组的第一表面上,并填充所述各个倒装发光单元之间的间隙,覆盖所述各个发光单元的侧表面;
绝缘层,形成于所述发光模组的第二表面上, 其覆盖整个所述发光模组的第二表面,仅露出所述发光模组的首个发光单元的n型半导体层和最后一个发光单元的p型半导体层;
桥接金属层,形成于所述发光模组的第二表面与所述绝缘层之间,用于串联各个倒装发光单元;
第一、第二支撑电极,形成于所述绝缘层上,两者相互电性隔离,其中第一支撑电极与所述发光模组的首个发光单元的n型半导体层形成电性连接,第二支撑电极与所述发光模组的最后一个发光单元的p型半导体层形成电性连接。
2.根据权利要求1所述的倒装高压发光器件,其特征在于:还包括形成于所述绝缘层与所述第一、第二支撑电极之间的金属反射层,金属反射层覆盖住发光单元之间的间隙位置,其分为第一、第二部分,其中第一部分与所述第一支撑电极连接,第二部分与第二支撑电极连接,所述第一、第二部分分别在端部设置电极连接区,所述绝缘层未覆盖所述电极连接区表面。
3.根据权利要求1所述的倒装高压发光器件,其特征在于:所述桥接金属层为反射性材料。
4.倒装高压发光器件的制作方法,包括步骤:
1)提供一发光外延结构,具有相对的第一表面和第二表面,依次包含n型半导体层、发光层和p型半导体层,其中n型半导体层一侧表面为第一表面,p型半导体层一侧表面为第二表面;
2)蚀刻所述发光外延结构的部分p型半导体层和发光层,露出n型半导体层的部分表面,从而将所述发光外延结构的p型半导体层和发光层划分为一系列单元,所述n型半导体层保持连接,未被分割;
3)将前述各个单元的p型半导体层分别与邻近的n型半导体层连接,从而所述发光外延结构形成并联电性结构;
4)制作绝缘层,其覆盖所述发光外延结构的第二表面,仅露出所述发光外延结构首端的n型半导体层和末端的p型半导体层;
5) 在所述绝缘层上制作相互电性隔离的第一、第二支撑电极,其中第一支撑电极与所述发光外延结构首端的n型半导体层形成电性连接,第二去支撑电极与所述发光外延结构末端的p型半导体层形成电性连接;
6)蚀刻所述发光外延结构的部分n型半导体层,从而将所述发光外延结构划分为一系列串联的发光单元,构成发光模组;
7)所述发光外延结构的第一表面上制作光转换层,其覆盖各个所述发光单元的侧表面。
5.根据权利要求4所述的倒装高压发光器件的制作方法,其特征在于:先采用整面n型半导体层作并联结构。
6.根据权利要求4所述的倒装高压发光器件的制作方法,其特征在于:步骤3)中制作一桥接金属层,将各个单元的p型半导体层分别与邻近的n型半导体层连接。
7.根据权利要求6所述的倒装高压发光器件的制作方法,其特征在于:步骤7)形成的光转换层直接覆盖在所述桥接金属层上。
8.根据权利要求4所述的倒装高压发光器件的制作方法,其特征在于:在步骤4)完成后,先在所述绝缘层的表面上制作一金属反射层,再在该金属反射层上制作第一支撑电极和第二支撑电极,其中所述金属反射层分为相互电性隔离的第一、第二部分,其中第一部分与所述发光外延结构首端的n型半导体层形成电性连接,第二部分与所述发光外延结构末端的p型半导体层形成电性连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





