[发明专利]倒装高压发光器件及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201410735775.3 申请日: 2014-12-08
公开(公告)号: CN104409466B 公开(公告)日: 2017-08-18
发明(设计)人: 钟志白;江彦志;方秋艳;李佳恩;徐宸科 申请(专利权)人: 厦门市三安光电科技有限公司
主分类号: H01L27/15 分类号: H01L27/15;H01L33/62;H01L33/50;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361009 福建省厦*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 倒装 高压 发光 器件 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.倒装高压发光器件,包括:

由多个相互串联的倒装发光单元构成的发光模组,具有相对的第一表面和第二表面,各个倒装发光单元之间具有间隙,每个发光单元包含n型半导体层、发光层和p型半导体层;

光转换层,形成于所述发光模组的第一表面上,并填充所述各个倒装发光单元之间的间隙,覆盖所述各个发光单元的侧表面;

绝缘层,形成于所述发光模组的第二表面上, 其覆盖整个所述发光模组的第二表面,仅露出所述发光模组的首个发光单元的n型半导体层和最后一个发光单元的p型半导体层;

桥接金属层,形成于所述发光模组的第二表面与所述绝缘层之间,用于串联各个倒装发光单元;

第一、第二支撑电极,形成于所述绝缘层上,两者相互电性隔离,其中第一支撑电极与所述发光模组的首个发光单元的n型半导体层形成电性连接,第二支撑电极与所述发光模组的最后一个发光单元的p型半导体层形成电性连接。

2.根据权利要求1所述的倒装高压发光器件,其特征在于:还包括形成于所述绝缘层与所述第一、第二支撑电极之间的金属反射层,金属反射层覆盖住发光单元之间的间隙位置,其分为第一、第二部分,其中第一部分与所述第一支撑电极连接,第二部分与第二支撑电极连接,所述第一、第二部分分别在端部设置电极连接区,所述绝缘层未覆盖所述电极连接区表面。

3.根据权利要求1所述的倒装高压发光器件,其特征在于:所述桥接金属层为反射性材料。

4.倒装高压发光器件的制作方法,包括步骤:

1)提供一发光外延结构,具有相对的第一表面和第二表面,依次包含n型半导体层、发光层和p型半导体层,其中n型半导体层一侧表面为第一表面,p型半导体层一侧表面为第二表面;

2)蚀刻所述发光外延结构的部分p型半导体层和发光层,露出n型半导体层的部分表面,从而将所述发光外延结构的p型半导体层和发光层划分为一系列单元,所述n型半导体层保持连接,未被分割;

3)将前述各个单元的p型半导体层分别与邻近的n型半导体层连接,从而所述发光外延结构形成并联电性结构;

4)制作绝缘层,其覆盖所述发光外延结构的第二表面,仅露出所述发光外延结构首端的n型半导体层和末端的p型半导体层;

5) 在所述绝缘层上制作相互电性隔离的第一、第二支撑电极,其中第一支撑电极与所述发光外延结构首端的n型半导体层形成电性连接,第二去支撑电极与所述发光外延结构末端的p型半导体层形成电性连接;

6)蚀刻所述发光外延结构的部分n型半导体层,从而将所述发光外延结构划分为一系列串联的发光单元,构成发光模组;

7)所述发光外延结构的第一表面上制作光转换层,其覆盖各个所述发光单元的侧表面。

5.根据权利要求4所述的倒装高压发光器件的制作方法,其特征在于:先采用整面n型半导体层作并联结构。

6.根据权利要求4所述的倒装高压发光器件的制作方法,其特征在于:步骤3)中制作一桥接金属层,将各个单元的p型半导体层分别与邻近的n型半导体层连接。

7.根据权利要求6所述的倒装高压发光器件的制作方法,其特征在于:步骤7)形成的光转换层直接覆盖在所述桥接金属层上。

8.根据权利要求4所述的倒装高压发光器件的制作方法,其特征在于:在步骤4)完成后,先在所述绝缘层的表面上制作一金属反射层,再在该金属反射层上制作第一支撑电极和第二支撑电极,其中所述金属反射层分为相互电性隔离的第一、第二部分,其中第一部分与所述发光外延结构首端的n型半导体层形成电性连接,第二部分与所述发光外延结构末端的p型半导体层形成电性连接。

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