[发明专利]振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体

说明书

本发明涉及一种振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体。振动元件具备振动部、对振动部进行支承的支承部和连结振动部与支承部的吊臂。另外，吊臂具有从支承部起延伸出的蜿蜒部和连结蜿蜒部与振动部的倾斜部。

技术领域

本发明涉及一种振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，作为用于检测加速度的振动元件，已知专利文献1这种振动元件。在专利文献1中记载的振动元件具有：基部；第一、第二检测臂，其从基部起沿着Y轴方向两侧而延伸；第一、第二连结臂，其从基部起向X轴方向两侧延伸；第一、第二驱动臂，其从第一连结臂起向Y轴方向两侧延伸出；第三、第四驱动臂，其从第二连结臂起向Y轴方向两侧延伸出。在这种结构的振动元件中，当在通过驱动模式而使各驱动臂振动的状态下施加绕Z轴的角速度时，将在第一、第二检测臂上激励有检测模式的振动，并能够根据通过该检测模式的振动而得到的信号来检测角速度。

而且，在专利文献1中记载的振动元件形成如下的结构，即，具有对基部进行支承的支承部和连结基部与支承部的四个梁(吊臂)，并且各个梁相对于X轴方向以及Y轴方向而倾斜，并且以直线状延伸出(参照专利文献2以及3)。

在所涉及的结构的振动元件中，向基部与梁的边界部的应力集中被减小，从而能够提高该边界部处的机械强度(耐冲击性)。但是，由于各个梁呈直线状，因此不能确保充分的长度，从而难以通过各个梁来充分地吸收、缓和冲击。其结果为，存在各专利文献所记载的振动元件的机械强度(尤其是落下时的耐冲击性)不充分的问题。

专利文献1：日本特开2006-201011号公报

专利文献2：日本特开2006-201053号公报

专利文献3：日本特开2009-74996号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种机械强度(耐冲击性)优异的振动元件、振子、电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，并能够作为以下的方式或应用例来实现。

应用例1

本发明的振动元件，其特征在于，具有：基部；支承部，其对所述基部进行支承；吊臂，其对所述基部与所述支承部进行连结；支承臂，其从所述基部起在X轴方向上延伸；检测臂，其从所述基部起在与所述X轴方向正交的Y轴方向上延伸；驱动臂，其从所述支承臂的顶端部起在所述Y轴方向上延伸，所述吊臂具有：蜿蜒部，其从所述支承部起延伸，并在所述X轴方向和所述Y轴方向上交替地延伸；倾斜部，其对所述蜿蜒部与所述基部进行连结，并在相对于所述X轴方向以及所述Y轴方向双方而倾斜的方向上延伸。

由此，能够获得机械强度(耐冲击性)优异的振动元件。

应用例2

在本发明的振动元件中，优选为，所述倾斜部具有与所述第一轴所成的角度互不相同的多个部分。

由此，能够防止倾斜部与蜿蜒部的边界部处的X轴方向以及Y轴方向上的刚性的急剧变化。因此，该边界部处的应力集中也被减小，从而能够更加可靠地实现振动元件的机械强度(耐冲击性)的提高。

应用例3

在本发明的振动元件中，优选为，所述多个部分的长度大致相等。

由此，即使从外部施加冲击(落下时的冲击)，也能够使应力大致均等地作用于在构成倾斜部的各部分上，从而能够理想地防止倾斜部的破损。

应用例4