[发明专利]实时监测洁净度的洁净工作台无效
| 申请号： | 201410724423.8 | 申请日： | 2014-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN104437706A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 冯金栋;黄元磊;吴峻 | 申请（专利权）人： | 上海力申科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B01L9/02 | 分类号： | B01L9/02;B25H1/00;G01N15/06 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 沈履君 |
| 地址： | 201706 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 实时 监测 洁净 工作台 | ||
【权利要求书】：
1.实时监测洁净度的洁净工作台，其特征在于，包括：
箱体，所述箱体为一侧开口结构，所述箱体内部形成工作区；
检测结构，所述检测结构设置在所述箱体内、位于所述工作区上部；其中
所述检测结构包括扫描探头以及设置在所述扫描探头内部的检测电路；其中
所述检测电路包括：
红外线发光二极管IRED；
光电晶体管PD，所述光电晶体管PD与所述红外线发光二极管IRED的光轴相交，所述光电晶体管PD与功率放大电路连接。
2.根据权利要求1所述的实时监测洁净度的洁净工作台，其特征在于，在所述箱体内还设有均流板，所述均流板位于所述工作区上部。
3.根据权利要求2所述的实时监测洁净度的洁净工作台，其特征在于，在所述均流板上设有导轨，所述检测结构通过所述导轨与所述箱体连接。
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