[发明专利]一种利用可旋转光栅测量的位移测量系统有效
| 申请号： | 201410720041.8 | 申请日： | 2014-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN104359410A | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 张鸣;朱煜;崔健彰;王磊杰;叶伟楠;杨开明;胡金春;徐登峰;成荣;张利;赵彦坡;胡清平;张金;尹文生;穆海华 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华卓精科科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 旋转 光栅 测量 位移 系统 | ||
1.一种利用可旋转光栅测量的位移测量系统，该系统包括激光器(1)、光栅(3)、光电转换器(4)和电子信号处理部件(5)，其特征在于，所述系统还包括凸透镜(2)和折光元件，该折光元件为回转体；所述的凸透镜(2)的中心位于激光器(1)的激光光轴上，所述折光元件的轴线与激光光轴重合；激光器(1)产生的激光垂直入射到光栅(3)上；光栅(3)产生的正负级衍射光经过折光元件后，折射并形成与激光光轴平行的两束光，然后经凸透镜(2)汇聚到光电转换器(4)上形成干涉信号，该干涉信号经光电转换器(4)转换成电信号后输入到电子信号处理部件(5)之中。
2.根据权利要求1所述的一种利用可旋转光栅测量的位移测量系统，其特征在于：激光器(1)位于凸透镜(2)与光电转换器(4)之间，激光器(1)发出的激光依次经过凸透镜(2)、折光元件后垂直入射到光栅(3)上。
3.根据权利要求1或2所述的一种利用可旋转光栅测量的位移测量系统，其特征在于：所述的折光元件采用圆锥镜(6a)，其轴截面为等腰三角形。
4.根据权利要求1或2所述的一种利用可旋转光栅测量的位移测量系统，其特征在于：所述的折光元件采用圆台形透镜(6b)，其轴截面为等腰梯形。
5.根据权利要求1或2所述的一种利用可旋转光栅测量的位移测量系统，其特征在于：所述的折光元件采用凹面反射镜(6c)，所述的凹面反射镜(6c)为内部空心圆台状。
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