[发明专利]正型感光性树脂组合物、图案形成方法、薄膜晶体管阵列基板以及液晶显示元件

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，包括：

一酚醛清漆树脂A；

一碱可溶性树脂B；

一邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物C；以及

一溶剂D；

其中，所述碱可溶性树脂B包含一第一碱可溶性树脂B-1，所述第一碱可溶性树脂B-1是由一混合物进行聚合反应所制得；所述混合物包含一环氧化合物i以及一化合物ii，所述环氧化合物i具有至少二个环氧基，且该化合物ii具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基，

所述环氧化合物i具有如下式i-1或下式i-2所示的结构：

式i-1中，R₁、R₂、R₃与R₄分别为相同或不同，且表示氢原子、卤素原子、C₁至C₅的烷基、C₁至C₅的烷氧基、C₆至C₁₂的芳基或C₆至C₁₂的芳烷基；

式i-2中，R₅至R₁₈分别为相同或不同，且表示氢原子、卤素原子、C₁至C₈的烷基或C₆至C₁₅的芳香基，且n表示0至10的整数。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中所述邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物C为邻萘醌二叠氮磺酸化合物与下式III化合物的酯化物：

式III中，R₃₄表示氢、烷基、芳基、烯基或上述基团经取代而成的有机基团，在具有多个R₃₄时，R₃₄分别为相同或不同；g、h、i、j分别为0至4的整数，且k+l等于1至6的整数。

3.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，基于所述酚醛清漆树脂A100重量份，所述碱可溶性树脂B的使用量为5～50重量份，所述邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物C的使用量为5～50重量份，且所述溶剂D的使用量为100～1000重量份；且基于所述碱可溶性树脂B的使用量为100重量份，所述第一碱可溶性树脂B-1的使用量为30～100重量份。

4.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，更包括一热酸产生剂E，且所述热酸产生剂E包含锍盐、苯并噻唑盐、及磺酰亚胺化合物中的至少一种。

5.根据权利要求4所述的正型感光性树脂组合物，其中，基于所述酚醛清漆树脂A100重量份，所述热酸产生剂E的使用量为0.01～0.2重量份。

6.一种图案形成方法，包括：

将如权利要求1～5中任一项所述的正型感光性树脂组合物涂布于一基板上，并依序进行一预烤处理、一曝光处理、一显影处理及一后烤处理，从而于所述基板上形成图案。

7.一种薄膜晶体管阵列基板，包括由如权利要求6所述的图案形成方法所形成的图案。

8.一种液晶显示元件，包括如权利要求7所述的薄膜晶体管阵列基板。