[发明专利]一种UV处理机台工艺性能的日常检查方法

权利要求书

1.一种UV处理机台工艺状态的日常检查方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、将一硅光片送入一UV处理机台中，并将所述UV处理机台的工艺温度稳定在一基准值；

步骤2、采用一UV光对所述硅光片进行照射，以得到UV处理机台在一段时间内的温度变化率；

步骤3、对所述温度变化率进行监控；

在所述步骤3中，采用以下方式对所述温度变化率进行监控：

将所述温度变化率与一温度变化率标准进行比较，若所述温度变化率符合所述温度变化率标准，则所述机台的工艺性能符合实际工艺要求，若所述温度变化率不符合所述温度变化率标准，则所述机台的工艺性能不符合实际工艺要求；

在所述步骤2中，所述一段时间为小于5分钟；所述UV光的强度为小于1000mW/cm²。

2.如权利要求1所述的UV处理机台工艺状态的日常检查方法，其特征在于，在所述步骤2中，通过一工厂数据分析系统收集并计算得到所述温度变化率。

3.如权利要求1所述的UV处理机台工艺状态的日常检查方法，其特征在于，在所述步骤1中，所述基准值为一预设的温度值。

4.如权利要求1所述的UV处理机台工艺状态的日常检查方法，其特征在于，所述温度变化率标准为一温度变化率范围，当所述温度变化率位于该温度变化率范围内时，则表示所述温度变化率符合所述温度变化率标准，当所述温度变化率位于该温度变化率范围之外时，则表示所述温度变化率不符合所述温度变化率标准。