[发明专利]麦克风及制造该麦克风的方法

权利要求书

1.一种麦克风，包括：

衬底，所述衬底包括贯通孔；

振动单元，所述振动单元被设置在所述衬底的上方以覆盖所述贯通孔；和

固定电极，所述固定电极被设置在所述振动单元的上方并与所述振动单元间隔开；

其中所述振动单元包括：

设置在所述贯通孔的上方的第一部分与第二部分，及

设置在所述衬底上的第三部分，

其中所述第一部分与所述第三部分彼此间隔开，且

所述第二部分连接在所述第一部分与所述第三部分之间，并包括第一压电部和第二压电部。

2.根据权利要求1所述的麦克风，其中所述第一部分、所述第二部分和所述第三部分中的每一部分包括：

第一绝缘膜；

第二绝缘膜；和

设置在所述第一绝缘膜与所述第二绝缘膜之间的振动膜。

3.根据权利要求2所述的麦克风，其中所述第一压电部被设置在所述第一绝缘膜的底面上，且所述第二压电部被设置在所述第二绝缘膜上。

4.根据权利要求3所述的麦克风，其中所述第一压电部包括：

第一压电下部电极；

第一压电上部电极；和

设置在所述第一压电下部电极与所述第一压电上部电极之间的第一压电层。

5.根据权利要求4所述的麦克风，其中所述第二压电部包括：

第二压电下部电极；

第二压电上部电极；和

设置在所述第二压电下部电极与所述第二压电上部电极之间的第二压电层。

6.根据权利要求2所述的麦克风，其中所述振动膜由多晶硅或导电材料形成。

7.根据权利要求1所述的麦克风，其中所述衬底由硅形成。

8.根据权利要求1所述的麦克风，进一步包括：

设置在所述第三部分上以支撑所述固定电极的支撑层。

9.一种制造麦克风的方法，包括以下步骤：

在衬底内形成凹部；

在所述衬底上形成氧化膜；

在所述氧化膜上形成振动单元；

在所述振动单元的上方并与所述振动单元间隔开地形成固定电极，所述固定电极包括多个进气口；和

蚀刻所述衬底的背面和所述氧化膜来形成贯通孔，以露出所述振动单元的一部分，

其中所述振动单元包括：

位于所述贯通孔上的第一部分和第二部分；和

位于所述衬底上的第三部分，

其中所述第一部分与所述第三部分彼此间隔开，并且

所述第二部分连接在所述第一部分与所述第三部分之间，并包括第一压电部和第二压电部。

10.根据权利要求9所述的方法，其中形成振动单元的步骤包括以下步骤：

在所述凹部内在所述氧化膜上形成所述第一压电部；

在所述氧化膜和第一压电部上顺序地形成第一绝缘膜、振动膜和第二绝缘膜；

图案化所述第一绝缘膜、所述振动膜和所述第二绝缘膜；和

在所述第二绝缘膜上在与所述第一压电部相反的位置形成所述第二压电部。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述第一压电部包括：

第一压电下部电极；

第一压电上部电极；和

设置在所述第一压电下部电极与所述第一压电上部电极之间的第一压电层。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述第二压电部包括：

第二压电下部电极；

第二压电上部电极；和

设置在所述第二压电下部电极与所述第二压电上部电极之间的第二压电层。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述振动膜由多晶硅或导电材料形成。