[发明专利]磁性装置、磁力调节装置及其磁力调节方法

说明书

本发明公开了一种磁性装置、磁力调节装置及其磁力调节方法，所述磁性装置包括：磁力固定部，用于吸附所述金属掩膜上一第一区域；磁力调节部，用于吸附所述金属掩膜上一第二区域；其中，所述磁力固定部的磁力强度固定，所述磁力调节部的磁力强度能够调节，在所述磁力固定部和所述磁力调节部的吸附下，使所述金属掩膜与OLED显示装置的基板紧密贴合。本发明能够使金属掩膜受磁力吸引与基板间受力均匀并紧密贴合。

技术领域

本发明涉及一种磁性装置、磁力调节装置及其磁力调节方法，尤其涉及一种用于OLED蒸镀技术的磁性装置、磁力调节装置及其磁力调节方法。

背景技术

OLED显示器件是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在含显示线路图案的玻璃基板上制作一多层有机发光材料，其中包含一发光层，有机发光材料上方有一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产生光辐射。OLED的发光机理和过程是从阴、阳两极分别注入电子和空穴，被注入的电子和空穴在有机层内传输，并在发光层内复合，从而激发发光层分子产生激子，激子辐射衰减而发光。

OLED器件的制备工艺包括：玻璃基板→清洗→前处理→真空蒸镀有机层→真空蒸镀电极→封装→切割→测试→模块组装→产品检验及老化实验等十几道工序。

在进行蒸镀步骤时，OLED器件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在高真空腔室中设有多个放置有机材料的坩埚，加热坩埚蒸镀有机材料，并利用石英晶体振荡器来控制膜厚。玻璃基板放置在托架上，其下面放置的金属掩膜(Mask)控制蒸镀图案。为了能够在玻璃基板上得到所需蒸镀图案，一般在蒸镀装置中需要在玻璃基板的上面设置永久磁铁阵列以吸附金属掩膜，使其与玻璃基板紧密贴合。永久磁铁阵列是由多个小磁铁排列组合而成，其磁力以及磁极排布方式在之前已经固定，无法更改磁极分布以及磁力大小。然而，受金属掩膜的平整度等因素影响，金属掩膜贴合在玻璃基板时其上各位置所需磁力大小并不相同。由于永久磁铁阵列本身特性所限，可能会造成金属掩膜上某处磁力过强，使得像素的颜色膜层受到金属掩膜挤压,导致膜层不连续，进而引起像素漏电,或是形成水气易侵入的路径,在耐候性测试时失效。同时，还可能造成金属掩膜上某处磁力不足,使金属掩膜将无法与基板紧密贴合,造成膜层往外晕开,及有效镀膜区域缩小等情况。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的目的之一在于提供一种磁力分布均匀，使金属掩膜上各位置基本上能够与基板紧密贴合的磁性装置。

本发明的另一目的在于提供一种可以调节上述磁性装置的磁力强度的磁力调节装置及其磁力调节方法。

为实现上述目的，本发明的磁性装置，用于OLED蒸镀装置中吸附一金属掩膜，所述磁性装置包括：

一磁力固定部，用于吸附所述金属掩膜上一第一区域；

一磁力调节部，用于吸附所述金属掩膜上一第二区域；

其中，所述磁力固定部的磁力强度固定，所述磁力调节部的磁力强度能够调节，通过所述磁性装置的所述磁力固定部和所述磁力调节部的吸附，使所述金属掩膜与OLED显示装置的基板紧密贴合。

进一步，所述磁性装置与所述金属掩膜的表面积的尺寸相对应。

进一步，所述磁力固定部为永久磁铁阵列，所述第一区域位于所述金属掩膜的中部，所述永久磁铁阵列与所述第一区域相对应。

进一步，所述磁力调节部为电磁铁阵列，所述第二区域位于所述金属掩膜的边缘，所述电磁铁阵列与所述第二区域相对应。

进一步，所述磁力调节部为电磁铁阵列，所述第二区域位于所述金属掩膜的开口的区域，所述电磁铁阵列与所述第二区域相对应。

进一步，所述磁力固定部为永久磁铁阵列，所述第一区域位于除所述金属掩膜的开口的区域之外的所述金属掩膜上的区域，所述永久磁铁阵列与所述第一区域相对应。