[发明专利]一种激光照射制备氮化镁的装置及方法

权利要求书

1.一种激光照射制备氮化镁的装置，其特征在于，包括反应器、 及置于反应器上方的激光器、还包括通过管路与反应器联接的输气装 置、抽真空装置和收集器；所述反应器整体为一封闭容器，顶部正对 激光器设有入射窗，入射窗安装有透镜玻璃，反应器内部设有可通过 驱动装置控制水平移动的工作台，工作台上放置装有反应固体原料的 料罐，反应器的一侧设有反应气体的进气口，反应器正对进气口的另 一侧设有收集口，通过管路与收集器联接，反应器靠近底部还设有抽 气口，通过管路与抽真空装置联接；所述激光器连接激光器控制装置； 所述输气装置包括由管路连接的储气瓶、减压器、流量计和阀门；所 述收集器整体为一漏斗状封闭容器，设置有气流入口和出口，底部有 通过法兰连接的收集罐，同时收集器内部设有辅助挡板。

2.根据权利要求1所述的激光照射制备氮化镁的装置，其特征 在于：在所述的透镜下方设置吹扫气体进口和出口。

3.一种激光照射制备氮化镁的方法，特征在于包括如下步骤：

1)反应固体原料氧化镁或氯化镁装入料罐置入反应器内工作台 上，之后利用抽真空装置对反应器和收集器一起抽真空，直至真空度 达到10Pa以下；

2)开启输气装置持续通入反应气体高纯氮气或氨气，使反应器 和收集器内充满反应气体，然后通过调节阀门控制反应气体在反应器 和收集器内形成稳定的气流；

3)通过激光器控制装置控制激光器发射激光，激光束功率为1kw 以上，光束直径为10mm以下，使激光束透过入射窗透镜对原料进行 照射，在激光照射作用下，反应固体原料与反应气体发生反应生成氮 化镁微粒；

4)生成的氮化镁微粒随气流进入收集器进行收集。

4.根据权利要求3所述的激光照射制备氮化镁的方法，其特征 在于：所述反应气体为氮气。

5.根据权利要求3所述的激光照射制备氮化镁的方法，其特征 在于：所述反应固体原料氧化镁。