[发明专利]研磨装置

权利要求书

1.一种研磨装置，其特征在于，具备：

能够旋转的研磨工作台，其用于支承研磨垫；

能够旋转的顶环，其具有用于将基板按压于上述研磨垫的压力室；

压力调节器，其对上述压力室内的气体的压力进行控制；

气体输送线路，其连接上述压力调节器和上述压力室；

缓冲罐，其设于上述压力室与上述压力调节器之间；以及

分支线路，其将上述缓冲罐与上述气体输送线路连接，

上述缓冲罐的容积与上述压力室的容积相同、或者比上述压力室的容积大，

上述缓冲罐配置在上述顶环外。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

上述压力调节器具备：

压力控制阀；

压力计，其对上述压力控制阀的下游侧的气体的压力进行测量；以及

阀控制部，其以使上述压力室内的压力的目标值与由上述压力计测量出的压力值的差为最小的方式，控制上述压力控制阀的动作。

3.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，还具备：

流量计，其对在上述气体输送线路流动的气体的流量进行计量，

上述缓冲罐配置在上述压力调节器与上述流量计之间。

4.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

上述缓冲罐具有内部容积不受其内部的压力的影响而不发生变化的结构。

5.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

上述缓冲罐构成为：该缓冲罐的容积与其内部的压力对应地变化。

6.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，

上述缓冲罐的至少一部分由与上述缓冲罐的内部的压力对应地变形的部件构成。

7.根据权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，

在上述缓冲罐的外侧配置有限制上述缓冲罐变形的限制罩。

8.根据权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，

与上述缓冲罐的内部的压力对应地变形的上述部件是隔膜。

9.根据权利要求6所述的研磨装置，其特征在于，

与上述缓冲罐的内部的压力对应地变形的上述部件是波纹管。

10.根据权利要求5所述的研磨装置，其特征在于，

上述缓冲罐具有：

缸体；

活塞，其收容在上述缸体内；

翻卷式隔膜，其对上述缸体与上述活塞之间的缝隙进行密封；以及

弹簧，其支承上述活塞，

上述翻卷式隔膜具有包围上述活塞的弯曲部，上述弯曲部具有倒U字形的剖面。

11.根据权利要求3所述的研磨装置，其特征在于，

将上述基板按压于上述研磨垫时的、上述顶环相对于上述研磨垫的相对高度恒定不变。