[发明专利]积分球、光源及紫外-真空紫外成像光谱仪参数校准方法在审
| 申请号: | 201410705359.9 | 申请日: | 2014-12-01 |
| 公开(公告)号: | CN104501952A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
| 发明(设计)人: | 孙广尉;王加朋;任小婉 | 申请(专利权)人: | 北京振兴计量测试研究所 |
| 主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/10;G01J3/28;G02B27/09 |
| 代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
| 地址: | 100074*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 积分 光源 紫外 真空 成像 光谱仪 参数 校准 方法 | ||
1.一种积分球,包括球本体(1),所述球本体(1)上开有分别用以输入和输出光线的入射口(5)以及出射口(4),其特征在于,所述球本体(1)内壁设置有反射层(2),用以减少所述球本体(1)内壁对光的吸收。
2.根据权利要求1所述的积分球,其特征在于,所述反射层(2)为由喷涂有铝粉的铝粉涂层。
3.根据权利要求1所述的积分球,其特征在于,所述反射层(2)内壁设置有保护层(3),用以保护所述反射层(2)。
4.根据权利要求3所述的积分球,其特征在于,所述隔离层(3)为蒸镀有氟化镁的氟化镁镀层。
5.根据权利要求1所述的积分球,其特征在于,所述入射口(5)与出射口(4)的夹角为90~135°。
6.根据权利要求5所述的积分球,其特征在于,所述入射口(5)与出射口(4)的夹角为90°。
7.一种光源,其特征在于,包括氘灯/或氙灯以及权利要求1-6中任一项所述的积分球,所述氘灯/或氙灯设置于所述积分球的入射口(5)以向所述积分球射入光线。
8.根据权利要求7所述的积分球,其特征在于,所述氘灯的出射光F数为4.5~6,并且/或所述氙灯出射光F数为4~6。
9.根据权利要求8所述的积分球,其特征在于,所述氘灯的出射光F数为4.5,并且/或所述氙灯出射光F数为4。
10.一种紫外-真空紫外成像光谱仪参数校准方法,其特征在于,校准采用的光源为权利要求7所述的光源。
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