[发明专利]积分球、光源及紫外-真空紫外成像光谱仪参数校准方法在审

专利信息
申请号: 201410705359.9 申请日: 2014-12-01
公开(公告)号: CN104501952A 公开(公告)日: 2015-04-08
发明(设计)人: 孙广尉;王加朋;任小婉 申请(专利权)人: 北京振兴计量测试研究所
主分类号: G01J3/02 分类号: G01J3/02;G01J3/10;G01J3/28;G02B27/09
代理公司: 代理人:
地址: 100074*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 积分 光源 紫外 真空 成像 光谱仪 参数 校准 方法
【权利要求书】:

1.一种积分球,包括球本体(1),所述球本体(1)上开有分别用以输入和输出光线的入射口(5)以及出射口(4),其特征在于,所述球本体(1)内壁设置有反射层(2),用以减少所述球本体(1)内壁对光的吸收。

2.根据权利要求1所述的积分球,其特征在于,所述反射层(2)为由喷涂有铝粉的铝粉涂层。

3.根据权利要求1所述的积分球,其特征在于,所述反射层(2)内壁设置有保护层(3),用以保护所述反射层(2)。

4.根据权利要求3所述的积分球,其特征在于,所述隔离层(3)为蒸镀有氟化镁的氟化镁镀层。

5.根据权利要求1所述的积分球,其特征在于,所述入射口(5)与出射口(4)的夹角为90~135°。

6.根据权利要求5所述的积分球,其特征在于,所述入射口(5)与出射口(4)的夹角为90°。

7.一种光源,其特征在于,包括氘灯/或氙灯以及权利要求1-6中任一项所述的积分球,所述氘灯/或氙灯设置于所述积分球的入射口(5)以向所述积分球射入光线。

8.根据权利要求7所述的积分球,其特征在于,所述氘灯的出射光F数为4.5~6,并且/或所述氙灯出射光F数为4~6。

9.根据权利要求8所述的积分球,其特征在于,所述氘灯的出射光F数为4.5,并且/或所述氙灯出射光F数为4。

10.一种紫外-真空紫外成像光谱仪参数校准方法,其特征在于,校准采用的光源为权利要求7所述的光源。

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