[发明专利]弹性表面波滤波器

说明书

技术领域

本发明涉及弹性表面波滤波器，特别是涉及具备下层布线与上层布线立体地交叉的构造的弹性表面波滤波器。

背景技术

一直以来，例如在日本特开2004-282707号公报(专利文献1)中公开了弹性表面波滤波器。在上述文献中公开了如下结构，即，电位互不相同的下层布线与上层布线，通过在其间夹着层间绝缘膜，从而在不互相导通的情况下交叉。

专利文献

专利文献1：日本特开2004-282707号公报

在上述文献的图9以及图17(b)中，记载有相对于上层布线的线宽而增大了层间绝缘膜的宽度的结构。如将上述文献的图9作为本申请的图10而图示的那样，如果扩大层间绝缘膜的区域，则在下层布线与上层布线的立体交叉部的上下布线间所产生的寄生电容将变大。如果经由该寄生电容而从上层布线向下层布线泄漏了无用的信号，则将产生弹性表面波滤波器的特性发生恶化的问题。

发明内容

本发明正是鉴于上述课题而完成的，其主要目的在于提供一种能够减少在下层布线与上层布线之间产生的寄生电容的弹性表面波滤波器。

本发明所涉及的弹性表面波滤波器具备压电基板、下层布线、上层布线和层间绝缘膜。下层布线被设置于压电基板上。上层布线与下层布线交叉。上层布线的电位与下层布线的电位不同。层间绝缘膜被设置于下层布线和上层布线之间。在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜具有如下部分，所述部分具有上层布线的宽度以下的宽度。

在上述弹性表面波滤波器中，优选为，在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜的整体具有上层布线的宽度以下的宽度。

在上述弹性表面波滤波器中，优选为，层间绝缘膜具有与上层布线接触的上表面和与下层布线接触的下表面。在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，上表面具有比上层布线的宽度小的宽度。

在上述弹性表面波滤波器中，优选为，在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，下表面具有比上表面大的宽度。

在上述弹性表面波滤波器中，优选为，在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，下表面具有比上层布线的宽度小的宽度。

在上述弹性表面波滤波器中，优选为，层间绝缘膜具有与上层布线接触的上表面和与下层布线接触的下表面。在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，上表面具有比下表面大的宽度。

发明效果

根据本发明的弹性表面波滤波器，能够降低在下层布线和上层布线之间产生的寄生电容。

附图说明

图1为表示实施方式1的弹性表面波滤波器的俯视图。

图2为图1所示的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着下层布线延伸的方向的剖视图。

图3为图1所示的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着上层布线延伸的方向的剖视图。

图4为实施方式2的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着下层布线延伸的方向的剖视图。

图5为图4所示的立体交叉部的俯视图。

图6为实施方式3的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着下层布线延伸的方向的剖视图。

图7为实施方式4的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着下层布线延伸的方向的剖视图。

图8为实施方式5的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着下层布线延伸的方向的剖视图。

图9为实施方式6的弹性表面波滤波器中的、立体交叉部的分解立体图。

图10为现有的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的剖视图。

具体实施方式

以下，根据附图来对本发明的实施方式进行说明。另外，在以下的附图中，对相同或相当的部分标记相同的参照号码，并不再重复其说明。

(实施方式1)

图1为表示实施方式1的弹性表面波滤波器11的俯视图。参照图1，弹性表面波滤波器11具备压电基板20。压电基板20为矩形板状，且具有作为主表面的表面20a和对置的两个端边20A、20B。压电基板20例如能够由LiTaO₃基板、LiNbO₃基板、水晶基板等构成。在以下的实施方式中，说明压电基板20由LiTaO₃基板构成的示例。