[发明专利]机械手臂

说明书

技术领域

本发明涉及一种机械手臂，特别是一种具有吸取头的机械手臂。

背景技术

为了减少污染及提高产量，半导体产业常利用一个或多个机械手臂搬运工作件， 例如硅晶圆或其它电子芯片，藉此以便进行后续的加工或是电性测试。

一般而言，当机械手臂组装于一机座时，由于组装公差的关系，机械手臂组装后 的位置和原先期望的使用位置将会产生偏差，此时就必须对机械手臂进行定位校正。 常见的定位校正方法为直接移动整体机械手臂来进行定位校正。然而，此种定位校正 方式将令使用者感到极为不便。

发明内容

鉴于以上的问题，本发明公开一种具有吸取头的机械手臂，其中吸取头的一吸取 孔和一轴线不相重叠。藉此，有助于简单地将机械手臂进行定位校正。

本发明公开一种机械手臂，包含一臂体和一吸取头。吸取头包含相连的一旋转段 和一固定段。旋转段以一轴线为旋转轴心而可旋转地设置于臂体。固定段具有一吸取 孔，且吸取孔的一孔轴心和轴线不相重叠。

本发明公开的机械手臂中，吸取孔的孔轴心和轴线不相重叠。当吸取头的旋转段 以轴线为旋转轴心相对臂体旋转时，旋转段带动固定段一并旋转，而使吸取孔相对轴 线移动。藉此，使用者仅需些微旋转吸取头即可微调吸取孔的位置，而不必对整体机 械手臂进行拆装即可进行定位校正，有助于提高定位校正机械手臂的工作效率。

以上的关于本发明内容的说明及以下的实施方式的说明是用以示范与解释本发明 的原理，并且提供对本发明的权利要求书更进一步的解释。

附图说明

图1为根据本发明一实施例的机械手臂的立体示意图。

图2为根据本发明一实施例的机械手臂的另一立体示意图。

图3为图1的分解示意图。

图4为图2的分解示意图。

图5为根据本发明一实施例的机械手臂的剖切示意图。

图6为根据本发明一实施例的旋转机械手臂的吸取头的下视示意图。

图7为根据本发明一实施例的旋转机械手臂的吸取头的另一下视示意图。

图8为图7的局部放大示意图。

符号说明：

1机械手臂

10臂体

100顶面

110底面

120侧面

130第一穿设孔

140狭缝

150第二穿设孔

160臂端

170限位面

180抽气流道

20吸取头

200固定段

201吸取孔

210旋转段

211通气孔

212检视孔

30锁合件

40吸嘴

400吸嘴孔

410凹槽

50封闭件

A1轴线

A2孔轴心

D孔轴心和轴线之间的间距

S狭缝与臂端之间的间隔

T路径

X第一方向

Y第二方向

θ旋转角度

具体实施方式

以下在实施方式中详细叙述本发明的详细特征以及优点，其内容足以使任何熟习 相关技艺者了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所公开的内容、权利 要求书及说明书附图，任何熟习相关技艺者可轻易地理解本发明相关的目的及优点。 以下的实施例进一步详细说明本发明的观点，但非以任何观点限制本发明的范畴。

请同时参照图1、图2、图3、图4和图5。图1为根据本发明一实施例的机械手 臂的立体示意图。图2为根据本发明一实施例的机械手臂的另一立体示意图。图3为 根据本发明一实施例的机械手臂的分解示意图。图4为根据本发明一实施例的机械手 臂的另一分解示意图。图5为根据本发明一实施例的机械手臂的剖切示意图。

在本实施例中，一机械手臂1包含一臂体10、一吸取头20、一锁合件30和一吸 嘴40。