[发明专利]一种扫描激光显微镜在审
| 申请号： | 201410694312.7 | 申请日： | 2014-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN104374701A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 王华兵;袁洁;周宪靖;吴培亨 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 邱兴天 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 激光 显微镜 | ||
1.一种扫描激光显微镜，其特征在于：包括恒温器（1）、三维位移平台（2）、光学系统（3）和电学系统（4）；在所述的恒温器（1）内设有恒温源（6），所述的恒温源（6）与氮流或氦流（8）连通；在所述的恒温器（1）内底座（7）上设三维位移平台（2），光学系统（3）的末端设在三维位移平台（2）上，样品安装在恒温源（6）上；电学系统（4）通过设在恒温器（1）上的电学接口（9）为恒温器（1）内提供工作所需的电学条件。
2.根据权利要求1所述的扫描激光显微镜，其特征在于：在所述的恒温器（1）上设有用于对样品表面进行加热的光学系统（3）的光学接口（10）。
3.根据权利要求1所述的扫描激光显微镜，其特征在于：在所述的恒温器（1）上设有用于辐射的辐射窗口（5）。
4.根据权利要求1所述的扫描激光显微镜，其特征在于：所述的三维位移平台（2）由X、Y、Z三个方向的位移器构成，整体的尺寸为15mm×15mm×30mm，三个轴的最高位移精度在nm量级，最大位移距离为mm量级。
5.根据权利要求1所述的扫描激光显微镜，其特征在于：所述的光学系统（3）包括激光器（1）、环行器（2）、光电探测器（3）、光纤（4）和渐变折射率棱镜（5）；所述的激光器（1）、光电探测器（3）和光纤（4）均与环行器（2）相连，所述的渐变折射率棱镜（5）与光纤（4）相连。
6.根据权利要求1所述的扫描激光显微镜，其特征在于：所述的渐变折射率棱镜（5）设在扫描激光显微镜的恒温器内部，所述的环行器（2）设在扫描激光显微镜的恒温器外部。
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