[发明专利]一种涂胶机涂覆材料的供应装置在审
| 申请号： | 201410691728.3 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN105629667A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 胡延兵;汪明波 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 机涂覆 材料 供应 装置 | ||
1.一种涂胶机涂覆材料的供应装置，其特征在于：包括截止阀(2)、缓冲 罐(3)、涂覆材料承装容器(4)及涂覆材料喷头(7)，其中涂覆材料承装容器 (4)为倒置的容器，容器封口有出液口，所述缓冲罐(3)的顶端设有缓冲罐 进液口，底部设有缓冲罐出液口，通过缓冲罐进液管路将涂覆材料承装容器(4) 与缓冲罐进液口连通，所述涂覆材料喷头(7)设置于待涂覆晶圆(1)的上方、 并通过缓冲罐出液管路与缓冲罐出液口连通，所述缓冲罐出液管路上设有截止 阀(2)；涂覆作业时，通过涂覆材料承装容器(4)内的液面与缓冲罐(3)内 的液面高度差，控制涂覆材料喷头(7)的涂覆材料吐出量与涂覆材料承装容器 (4)的供给量的平衡。
2.按权利要求1所述的涂胶机涂覆材料的供应装置，其特征在于：所述缓 冲罐(3)缓冲罐进液管路和缓冲罐出液管路上分别设有上液位传感器(5)和 下液位传感器(6)，所述下液位传感器(6)位于截止阀(2)的上方。
3.按权利要求1所述的涂胶机涂覆材料的供应装置，其特征在于：所述缓 冲罐进液管路和缓冲罐(3)上均设有排气口。
4.按权利要求1-3任一项所述的涂胶机涂覆材料的供应装置，其特征在于： 所述涂覆材料承装容器(4)的位置高度大于缓冲罐(3)的位置高度，所述缓 冲罐(3)的位置高度大于截止阀(2)的位置高度，所述截止阀(2)的位置高 度大于待涂覆晶圆(1)的位置高度。
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