[发明专利]半导体元件测试用分选机

权利要求书

1.一种半导体元件测试用分选机，其特征在于，包括：

装载器，其将半导体元件从用户托盘装载至测试托盘；

连接装置，其使由上述装载器而结束了装载的测试托盘的各半导体元件与测试器电连接；

卸载器，其若由上述连接装置而与测试器电连接的各半导体元件的测试结束，则将半导体元件从测试托盘卸载至用户托盘；以及，

清洁器，其对于在各半导体元件由上述装载器所腾出之后处于停止状态的用户托盘进行异物去除，或对于在半导体元件由上述卸载器所装填之前处于停止状态的用户托盘进行异物去除。

2.根据权利要求1所述的半导体元件测试用分选机，其特征在于，

上述清洁器与上述装载器或上述卸载器结合而与上述装载器或上述卸载器一起移动。

3.根据权利要求2所述的半导体元件测试用分选机，其特征在于，

进一步包括用于使上述清洁器相对于上述装载器或上述卸载器进行升降的升降器。

4.根据权利要求1所述的半导体元件测试用分选机，其特征在于，

上述清洁器包括：

从用户托盘真空吸入异物的真空吸入部分；以及，

由上述真空吸入部分所吸入的异物自由下落而汇集的集尘部分。

5.根据权利要求1所述的半导体元件测试用分选机，其特征在于，

进一步包括确认在处于停止状态的用户托盘上是否残存半导体元件的元件确认器，

上述清洁器在通过上述元件确认器而确认出用户托盘已空出的情况下工作。