[发明专利]包含音圈致动器的感测驱动模块

说明书

技术领域

本发明是关于一种致动器与感测驱动模块，特别是关于一种包含音 圈致动器的感测驱动模块。

背景技术

按，隔振系统被普遍应用于各种机械设备中，而且随着科技的进步， 研究范围越来越朝向精密及微小的领域发展，为了保持精密零件于生产 加工的过程中不致受到振动的影响而降低其精密度，因此，具有更佳隔 振效果的隔振系统亦随着精密零件的生产需求而被研发制造出来。

另外，由于半导体制程趋向奈米等级，仪器设备对于地板振动隔离 的要求益趋严苛，使得传统的隔振技术已经渐渐地不符合实际的需求， 所以国际先进隔振厂商纷纷投入主动隔振控制技术的研发，以协助高科 技奈米级仪器设备的发展。其中，主动式隔振系统是由振动传感器撷取 讯号并回馈至控制器进行运算，再输出控制讯号至致动器产生抑制振动 的控制力，进而达到降低振动量、提高制程良率的目的。

由于音圈致动器具有刚性低、输出力与电流成正比及价格低廉等优 点，已成为主动隔振系统致动元件中最多厂商采用的产品。然而，习知 的一种音圈致动器中，音圈动子与音圈本体的连接是采用平板弹片，由 于平板弹片的刚性较大，造成应用于主动隔振系统时整体的刚性也上升， 因此，当音圈致动器受太大外力时(例如振动量过大)，其线圈容易因平 板弹片撞击音圈的底部而损坏。

因此，如何提供一种包含音圈致动器的感测驱动模块，可避免振动 量过大而造成线圈损坏的问题，是业界极需努力的课题。

发明内容

有鉴于上述课题，本发明的目的为提供一种可应用于主动隔振系统 的包含音圈致动器的感测驱动模块。本发明包含音圈致动器的感测驱动 模块不仅可避免因外力太大而造成线圈损坏的问题，也可降低主动隔振 系统的成本支出并增强模块系统整合效能，进而增加产品的竞争力。

为达上述目的，依据本发明的一种音圈致动器，包括一本体座、一 盖体、一磁性元件、一动子组件以及一线圈。盖体与本体座连接而形成 一容置空间。磁性元件设置于容置空间。动子组件设置于容置空间，并 具有一动子、一第一弹性元件及一抵压元件，动子与磁性元件相对而设， 并具有一通孔及一第一侧，抵压元件设置于通孔，并具有一第一端及相 对第一端的一第二端，第一端为圆弧状，并突出于通孔，第一弹性元件 设置于第一侧，并具有一第三端及相对第三端的一第四端，第三端顶抵 磁性元件，第四端位于通孔内，并抵顶第二端。线圈环设于磁性元件的 外围，并与动子连接。

为达上述目的，依据本发明的一种感测驱动模块，包括一音圈致动 器以及一加速规。音圈致动器具有一本体座、一盖体、一磁性元件、一 动子组件以及一线圈。盖体与本体座连接而形成一容置空间。磁性元件 设置于容置空间。动子组件设置于容置空间，并具有一动子、一第一弹 性元件及一抵压元件，动子与磁性元件相对而设，并具有一通孔及一第 一侧，抵压元件设置于通孔，并具有一第一端及相对第一端的一第二端， 第一端为圆弧状，并突出于通孔，第一弹性元件设置于第一侧，并具有 一第三端及相对第三端的一第四端，第三端顶抵磁性元件，第四端位于 通孔内，并抵顶抵压元件的第二端。线圈环设于磁性元件的外围，并与 动子连接。加速规与音圈致动器紧密配合；其中，加速规用于测量一轴 向的振动而输出一振动讯号，而音圈致动器依据振动讯号控制动子组件 运动以产生抑制所述轴向振动的控制力。

在一实施例中，音圈致动器更包括一轭铁及一定位架。轭铁设置于 容置空间，并环设于磁性元件的外围，且线圈位于磁性元件与轭铁之间。 定位架与盖体及轭铁连接，且动子组件位于定位架的内侧。

另外，音圈致动器更包括一支撑元件及一迫紧元件。支撑元件环设 于动子的外围，并分别与动子及定位架连接。迫紧元件设置于定位架的 内侧，且支撑元件夹设于定位架与迫紧元件之间。

在一实施例中，动子组件更具有一圆珠、一锁固元件及一第二弹性 元件，动子的至少一侧边上具有一贯穿孔，圆珠设置于贯穿孔内，并顶 抵抵压元件侧面的一凹槽，锁固元件设置于贯穿孔，并与贯穿孔紧密配 合，第二弹性元件设置于圆珠与锁固元件之间。