[发明专利]含倍半萜内酯成膜树脂及其正性干法曝光193nm光刻胶

权利要求书

1.一种含倍半萜内酯成膜树脂，其特征在于：所述成膜树脂由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，溶剂中进行共聚反应制备而成，其特征在于：所述成膜树脂的分子量为4,000～1,000,000，分子量分布为1.4～2.4；所述共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物： 

含天然产物倍半萜内酯的组成单元       10%～60%，

含酸敏基团单体                       5%～40%，

其它性能调节组分单体                 1% ~ 20%；

所述含天然产物倍半萜内酯的组成单元是指符合化学通式（                                                ）的至少一种倍半萜醇的（甲基）丙烯酸酯类化合物；

   （II）；

所述含酸敏基团单体是符合化学通式（）式和（）中的至少一种化合物：

       （）；

化学通式（）式中R₂为H或CH₃；

化学通式（）式中R₃为可离去基团，可离去基团任选下列取代基团之一，如（IV）中所示：

      （IV）；

其中Y=-CH₃或者-CH₂CH₃。

2.根据权利要求1所述的含倍半萜内酯成膜树脂，其特征在于：所述化学通式（）中R基为表1所示的倍半萜内酯醇，或为表1所示的倍半萜内酯醇对应的烯式，所述倍半萜内酯醇如下表1所示：

 

。

3.根据权利要求1所述的含倍半萜内酯成膜树脂，其特征在于：所述引发剂为偶氮引发剂、过氧化物的自由基引发剂；所述偶氮引发剂为偶氮二异丁晴或偶氮二异庚晴，所述过氧化物的自由基引发剂为叔丁基过氧化特戊酸酯、叔丁基过氧化氢、苯甲酸过氧化氢或者过氧化苯甲酰等；所述引发剂用量为所述共聚单体总重量的0.3%～15%。

4.一种应用权利要求1~3中任一项所述的含倍半萜内酯成膜树脂制成的正性干法曝光193nm光刻胶，其特征在于：主要由以下质量份的化合物组成：

含倍半萜内酯成膜树脂    10～35份；

光致酸                  0.5～6份；

溶剂                    70～90份；

有机碱                  0.01～0.5份；

所述光致酸是符合化学通式（）或（）的硫鎓盐之一，或者是符合化学通式（）的二芳基碘鎓盐之一；

      （）；

式中：R₁₆、R₁₇、R₁₈各自独立地是H、碳原子数为1～20的烷基或者碳原子数为1～20的烷氧基；q＝0～12；

  （）；

式中：R₁₉是H、碳原子数为1～20的烷基或者碳原子数为1～20的烷氧基；r＝0～12，；

                 （）；

式中：R₂₀、R₂₁各自独立地是H、碳原子数为1～20的烷基或者碳原子数为1～20的烷氧基；s＝0～12；

所述溶剂是丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单醋酸醚、丙二醇单乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、乳酸乙酯、甲基乙基酮和甲基异丁基酮中的至少一种；

所述有机碱选自三丙胺、三丁胺、三异丁胺、三辛胺、三乙醇胺、三乙氧基乙醇胺、三甲氧基甲氧基乙基胺和四甲基氢氧化铵中的至少一种。

5.根据权利要求4所述的正性干法曝光193nm光刻胶，其特征在于：所述符合化学通式（）或（）的硫鎓盐为：三苯基硫鎓盐、三对甲苯基硫鎓盐、三对叔丁基苯基硫鎓盐、三（3,5-二甲基苯基）硫鎓盐、三（3,5-二叔丁基苯基）硫鎓盐，其配位阴离子为：三氟甲基磺酸、全氟丁基磺酸、对甲苯基磺酸、萘磺酸。

6.根据权利要求4所述的正性干法曝光193nm光刻胶，其特征在于：所述符合化学通式（）的二芳基碘鎓盐为：二苯基碘鎓盐、二对甲苯基碘鎓盐、二对叔丁基苯基碘鎓盐，其配位阴离子为：三氟甲基磺酸、全氟丁基磺酸、对甲苯基磺酸、萘磺酸、樟脑磺酸。