[发明专利]一种石墨舟冷却房

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能等离子增强型化学气相沉积技术领域，尤其是涉及一种石墨舟冷却房。

背景技术

石墨舟是一种在等离子增强型化学气相沉积（PECVD）管式炉内对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜镀层的承载工具。在工艺结束后石墨舟的温度过高，需要对石墨舟进行冷却。传统冷却房由于设计缺陷使得风量不够，冷却力不足，造成冷却工序时间较长，导致产量受到限制，员工在操作过程中还要忍受上百度的高温。

如中国专利公开号：CN 203277474U，公开日2013年11月6日的专利文件中，公开了一种石墨舟冷却装置，所述石墨舟冷却装置包括框架和设置在框架底部四角的固定底座；所述框架内设有石墨舟冷却台，所述冷却台面上设有出风口，所述出风口与轴流风机连接，所述轴流风机与延时继电器连接。通过在石墨舟冷却装置中安装延时继电器可以控制石墨舟的冷却时间，降低损耗，提高设备的使用效率。但是该冷却装置同样存在风量不够，冷却力不足、冷却时间长的缺陷。

发明内容

本发明是为了解决现有石墨舟冷却装置冷却力不足、冷却时间长的问题，提供了冷却效率高的一种石墨舟冷却房。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

本发明的一种石墨舟冷却房，包括一面敞开的冷却房房体、设置在房体内的冷却平台，冷却平台内设有排风扇和通风口，所述通风口设置为匹配石墨舟尺寸的矩形通风口，通风口上端设有冷却水管，冷却水管和冷却风机相连接循环制冷，所述冷却水管上设有散热片群，所述散热片群由若干垂直连接在冷却水管上的金属散热片组成。

石墨舟冷却前，温度较高，为了方便一般都是石墨舟载车带石墨舟一起放入冷却房冷却。本发明对传统的冷却房进行改造，通过加大通风口的面积和在通风口处加入冷却水管从而达到提高冷却效率的目的。冷却水管上的散热片群增加了风和冷却物的换热面积，提高了热交换，使得经过冷却水管的风温度更低，冷却效果更好。

作为优选，所述通风口上的冷却水管平行排列有两根。提高冷却效率。

作为优选，所述通风口出口处偏离竖直方向45度角扩展成喇叭状。增大出风时的扩散面，增大冷却面积。

作为优选，通风口下方并列设有三台排风扇。因为通风口匹配石墨舟设计，长度较长，设置一排三台排风扇，吹风效果好。

作为优选，所述冷却平台水平设置在冷却房敞口的中间部位，冷却平台下端的冷却房底部侧边设有引导板，右侧引导板里面端部设有光电传感器。光电传感器自感应石墨舟载车是否进入冷却房，并且进入位置到位，然后自动开启或关闭排风扇，方便操作。

作为优选，冷却平台下端的冷却房底部设有挡板。起到限位作用。

作为优选，冷却房顶部设有出风口。

作为优选，所述散热片群中，冷却水管穿过金属散热片的中间部位。风先经过散热片群分流，热交换效果更好。

作为优选，金属散热片间距为7mm。

本发明具有如下有益效果：本发明对传统的冷却房进行改造，通过加大通风口的面积和在通风口处加入冷却水管从而达到提高冷却效率的目的。

附图说明

图1是本发明的一种结构示意图。 

图2是通风口处的俯视图。

图中：房体1、冷却平台2、排风扇3、通风口4、冷却水管5、散热片群6、光电传感器7、挡板8、引导板9、出风口10。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步的描述。

如图1、图2所示的实施例中，一种石墨舟冷却房，包括一面敞开的冷却房房体1、设置在房体内的冷却平台2，冷却平台水平设置在冷却房敞口的中间部位。冷却平台内设有排风扇3和通风口4。排风扇3并列设有三台，排风扇3底端为吸风口，排风扇顶部为匹配石墨舟尺寸的矩形通风口。通风口长114cm，宽16cm。通风口4上端设有冷却水管5，冷却水管5平行排列有两根。冷却水管和置于室外的冷却风机相连接循环制冷。冷却水管5上设有散热片群6，散热片群6由若干垂直连接在冷却水管上的金属散热片组成。冷却水管穿过金属散热片的中间部位，金属散热片长16cm，宽5cm，厚度为0.1cm，金属散热片间距为7mm。通风口4出口处偏离竖直方向45度角扩展成喇叭状。

冷却平台2下端的冷却房底部侧边设有引导板9，方便石墨舟载车推入。右侧引导板里面端部设有光电传感器7，冷却平台下端的冷却房底部设有两块挡板8。冷却房顶部设有出风口10。

高温的石墨舟承载于石墨舟载车上后，从冷却房敞口处推入冷却房，至挡板8部不动。光电传感器7感应到载车底部的车脚连杆，开启风扇。风从通风口吹出，经过散热片群，变成冷风，冷却石墨舟。冷却完后，石墨舟载车拉出冷却房，光电传感器7感应为空时，关闭风扇。